У хутка развіваючыхся галінах лазерных тэхналогій, даследаванняў глыбокага космасу і літаграфіі ў экстрэмальным ультрафіялетавым (EUV) выпраменьванні попыт на аптычную дакладнасць дасягае атамнага ўзроўню. Для кампаній, якія займаюцца аптыкай і фатонікай, якасць дакладных шкляных кампанентаў — гэта не проста характарыстыка, а вызначальны фактар прадукцыйнасці сістэмы.
У групе ZHHIMG мы разумеем, што вытворчасць гэтых кампанентаў патрабуе не толькі рэзкі матэрыялу, але і валодання фізікай святла і матэрыі. У гэтым артыкуле разглядаюцца крытычныя сферы прымянення аптычнага шкла і складаныя вытворчыя праблемы, якія мы пераадольваем, каб стварыць асновы ультрадакладнай оптыкі.
Крытычна важныя сферы прымянення: дзе дакладнасць мае значэнне
Аптычнае шкло — гэта аснова сучаснай фатонікі. Патрабаванні да гэтых кампанентаў, пачынаючы ад сродкаў сувязі і заканчваючы абаронай, становяцца ўсё больш жорсткімі.
1. Лазерны ядзерны сінтэз і магутныя лазерныя сістэмы
У магутных лазерных сістэмах аптычныя кампаненты павінны вытрымліваць велізарную шчыльнасць энергіі. Любы мікраскапічны дэфект або прымешка ў шкле можа прывесці да пашкоджання, выкліканага лазерам, і паставіць пад пагрозу ўсю сістэму. Тут вытворчасць сканцэнтравана на ліквідацыі падпаверхневых пашкоджанняў і забеспячэнні высокай аднастайнасці для прадухілення скажэння прамяня.
2. Касмічная оптыка і выяўленне глыбокага космасу
Па меры павелічэння памеру апертуры касмічных тэлескопаў і прыбораў дыстанцыйнага зандзіравання (цяпер яны перавышаюць 4 метры) узрастаюць патрабаванні да лёгкасці і дакладнасці паверхні. Аптычныя кампаненты для касмічнай прасторы павінны захоўваць сваю форму ў экстрэмальных тэмпературных умовах, што патрабуе матэрыялаў з ультранізкімі каэфіцыентамі цеплавога пашырэння.
3. Паўправадніковая і EUV-літаграфія
У паўправадніковай прамысловасці сістэмы літаграфіі EUV абапіраюцца на адбівальныя люстэркі з шурпатасцю паверхні, якая кантралюецца да менш чым 0,1 нм (RMS). Нават няроўнасці на атамным узроўні могуць рассейваць святло і парушаць раздзяляльную здольнасць чыпа. Гэта вяршыня вытворчасці аптычнага шкла.
Вытворчая праблема: напружанне, плоскасць і гладкасць
Дасягненне неабходнай якасці для гэтых ужыванняў прадугледжвае пераадоленне трох асноўных перашкод у вытворчым працэсе.
1. Кантроль унутранага стрэсу
Рэшткавае напружанне — вораг аптычнай стабільнасці. Яно можа выклікаць падвойнае праламленне (змену паказчыка праламлення) і прывесці да расколін пад уздзеяннем цеплавой нагрузкі.
- Праблема: Апрацоўка цвёрдага, далікатнага шкла часта суправаджаецца мікранапружаннямі.
- Наш падыход: Мы выкарыстоўваем перадавыя працэсы адпалу і метады фармавання з мінімальным пашкоджаннем. Строга кантралюючы хуткасць астуджэння і выкарыстоўваючы стратэгіі апрацоўкі для зняцця напружання, мы гарантуем, што ўнутраная структура шкла застанецца нейтральнай і стабільнай.
2. Дасягненне звышвысокай плоскасці (дакладнасці нізкай частаты)
Для звышдакладных аптычных асноў і люстраных падложак «форма» паверхні мае вырашальнае значэнне.
- Праблема: Традыцыйнае шліфаванне можа пакідаць хвалістасць або памылкі формы, якія пагаршаюць дакладнасць хвалевага фронту.
- Наш падыход: Мы выкарыстоўваем высокадакладную камп'ютэрна-кіраваную аптычную наплаўку (CCOS). Гэта дазваляе нам карэктаваць нізкачастотныя памылкі (адхіленні формы) для дасягнення значэнняў ад піка да западзіны (PV), часта меншых за 1 нм, гарантуючы ідэальнае выраўноўванне аптычнага шляху.
3. Шурпатасць паверхні (гладкасць на высокіх частотах)
Рассейванне выклікана высокачастотнай тэкстурай паверхні.
- Задача: выдаленне «памутнення» і мікрадрапін, пакінутых шліфавальным працэсам, патрабуе пераходу ад выдалення матэрыялу да згладжвання паверхні.
- Наш падыход: Мы выкарыстоўваем перадавыя тэхналогіі паліроўкі, у тым ліку магнітна-асістэнтную аздабленне. Гэтая тэхніка дазваляе апрацоўваць складаныя формы (напрыклад, лінзы свабоднай формы) у пакетнай апрацоўцы, дасягаючы пры гэтым шурпатасці паверхні субнанаметравага ўзроўню (Ra < 0,6 нм) без унясення новых пашкоджанняў пад паверхняй.
ZHHIMG: Ваш партнёр у галіне звышдакладнасці
Пераход ад неапрацаванага шкла да функцыянальнага аптычнага кампанента — гэта шлях праз нанатэхналогіі. У ZHHIMG Group мы пераадольваем разрыў паміж матэрыялазнаўствам і дакладнай інжынерыяй.
Нашы магчымасці ўключаюць:
- Складаныя геаметрыі: апрацоўка аптычных кампанентаў свабоднай формы, асферычных і планарных.
- Метралогія і кантроль: выкарыстанне інтэрфераметраў і профілометраў для праверкі якасці паверхні і дакладнасці формы ў рэжыме рэальнага часу.
- Экспертыза матэрыялаў: Глыбокі вопыт працы з плаўленым крэмнезёмам, кварцам і спецыялізаваным аптычным шклом, вядомым высокай прапускальнасцю і нізкім пашырэннем.
Выснова
Паколькі аптычныя сістэмы пашыраюць межы магчымага, вытворчасць дакладных шкляных кампанентаў...
Паколькі аптычныя сістэмы пашыраюць межы магчымага, вытворчасць дакладных шкляных кампанентаў...
Час публікацыі: 09 красавіка 2026 г.