Граніт - цвёрды і трывалы матэрыял, які часта выкарыстоўваецца ў будаўнічай індустрыі.Тым не менш, ён таксама валодае ўласцівасцямі, якія робяць яго карысным у вытворчасці паўправаднікоў, асабліва пры вырабе і апрацоўцы інтэгральных схем.Гранітныя кампаненты, такія як гранітныя сталы і гранітныя блокі, шырока выкарыстоўваюцца за іх стабільнасць, плоскасць і нізкі каэфіцыент цеплавога пашырэння.
Адно з асноўных ужыванняў гранітных кампанентаў у вытворчасці паўправаднікоў - у працэсе вытворчасці.Крамянёвыя пласціны, асноўныя будаўнічыя блокі інтэгральных схем, павінны быць выраблены з высокай дакладнасцю і дакладнасцю.Любое скажэнне або рух падчас працэсу можа прывесці да дэфектаў, якія могуць паўплываць на якасць і функцыянальнасць інтэгральных схем.Гранітныя сталы з іх высокай устойлівасцю і роўнасцю з'яўляюцца добрай платформай для абсталявання для апрацоўкі вафель.Яны таксама ўстойлівыя да цеплавога пашырэння і сціскання, выкліканага нагрэвам і астуджэннем, неабходнымі ў працэсе.
Гранітныя блокі таксама выкарыстоўваюцца ў апрацоўцы паўправаднікоў з-за іх тэрмічнай стабільнасці.Падчас працэсаў тручэння або нанясення гарачыя газы або плазма выкарыстоўваюцца для мадыфікацыі паверхні крэмніевай пласціны.Тэмпературу пласцін трэба кантраляваць, каб гарантаваць, што працэс ажыццяўляецца эфектыўна і дакладна.Гранітныя блокі з іх нізкім каэфіцыентам цеплавога пашырэння дапамагаюць стабілізаваць тэмпературу пласціны, зніжаючы рызыку ваганняў тэмпературы, якія могуць паўплываць на якасць апрацоўванага матэрыялу.
Акрамя працэсаў вырабу і апрацоўкі, гранітныя кампаненты таксама выкарыстоўваюцца на этапах метралогіі і інспекцыі вытворчасці паўправаднікоў.Метралагічныя вымярэнні праводзяцца, каб гарантаваць, што памер, форма і становішча структур на пласціне адпавядаюць патрабаваным спецыфікацыям.Гранітныя блокі выкарыстоўваюцца ў якасці эталонаў у гэтых вымярэннях з-за іх стабільнасці памераў і дакладнасці.Яны таксама выкарыстоўваюцца на этапах кантролю, дзе якасць інтэгральных схем правяраецца пад вялікім павелічэннем.
У цэлым выкарыстанне гранітных кампанентаў у вытворчасці паўправаднікоў павялічылася ў апошнія гады.Патрэба ў высокай дакладнасці, дакладнасці і стабільнасці пры вырабе і апрацоўцы інтэгральных схем стала прычынай прыняцця гэтых матэрыялаў вытворцамі паўправаднікоў.Унікальныя ўласцівасці граніту, такія як яго цвёрдасць, стабільнасць і нізкі каэфіцыент цеплавога пашырэння, робяць яго выдатным выбарам для выкарыстання ў гэтых працэсах.З працяглым развіццём і ўдасканаленнем паўправадніковых тэхналогій чакаецца, што ў будучыні выкарыстанне гранітных кампанентаў будзе расці.
Час публікацыі: 5 снежня 2023 г