Граніт — гэта цвёрды і трывалы матэрыял, які часта выкарыстоўваецца ў будаўнічай галіне. Аднак ён таксама валодае ўласцівасцямі, якія робяць яго карысным у вытворчасці паўправаднікоў, асабліва пры вырабе і апрацоўцы інтэгральных схем. Гранітныя кампаненты, такія як гранітныя сталы і гранітныя блокі, шырока выкарыстоўваюцца дзякуючы сваёй стабільнасці, плоскасці і нізкаму каэфіцыенту цеплавога пашырэння.
Адным з асноўных спосабаў выкарыстання гранітных кампанентаў у вытворчасці паўправаднікоў з'яўляецца іх выраб. Крэмніевыя пласціны, асноўныя будаўнічыя блокі інтэгральных схем, павінны вырабляцца з высокай дакладнасцю і акуратнасцю. Любое дэфармаванне або рух падчас працэсу можа прывесці да дэфектаў, якія могуць паўплываць на якасць і функцыянальнасць інтэгральных схем. Гранітныя сталы, дзякуючы сваёй высокай стабільнасці і плоскасці, забяспечваюць добрую платформу для абсталявання для апрацоўкі пласцін. Яны таксама ўстойлівыя да цеплавога пашырэння і сціскання, выкліканага награваннем і астуджэннем, неабходнымі ў працэсе.
Гранітныя блокі таксама выкарыстоўваюцца ў апрацоўцы паўправаднікоў дзякуючы іх тэрмічнай стабільнасці. Падчас працэсаў травлення або нанясення гарачыя газы або плазма выкарыстоўваюцца для мадыфікацыі паверхні крэмніевай пласціны. Тэмпературу пласціны неабходна кантраляваць, каб забяспечыць эфектыўнае і дакладнае выкананне працэсу. Гранітныя блокі з нізкім каэфіцыентам цеплавога пашырэння дапамагаюць стабілізаваць тэмпературу пласціны, зніжаючы рызыку ваганняў тэмпературы, якія могуць паўплываць на якасць апрацаванага матэрыялу.
Акрамя вырабу і апрацоўкі, гранітныя кампаненты таксама выкарыстоўваюцца на этапах метралогіі і кантролю паўправадніковай вытворчасці. Метралагічныя вымярэнні праводзяцца для таго, каб памер, форма і размяшчэнне структур на пласціне адпавядалі патрабаваным спецыфікацыям. Гранітныя блокі выкарыстоўваюцца ў якасці эталонаў у гэтых вымярэннях з-за іх стабільнасці памераў і дакладнасці. Яны таксама выкарыстоўваюцца на этапах кантролю, дзе якасць інтэгральных схем правяраецца пад вялікім павелічэннем.
У цэлым, выкарыстанне гранітных кампанентаў у вытворчасці паўправаднікоў у апошнія гады павялічылася. Патрэба ў высокай дакладнасці, гатоўнасці і стабільнасці пры вырабе і апрацоўцы інтэгральных схем падштурхнула вытворцаў паўправаднікоў да ўкаранення гэтых матэрыялаў. Унікальныя ўласцівасці граніту, такія як яго цвёрдасць, стабільнасць і нізкі каэфіцыент цеплавога пашырэння, робяць яго выдатным выбарам для выкарыстання ў гэтых працэсах. З пастаянным развіццём і ўдасканаленнем паўправадніковых тэхналогій чакаецца, што выкарыстанне гранітных кампанентаў будзе пашырацца ў будучыні.
Час публікацыі: 05 снежня 2023 г.