Граніт - гэта цвёрды і трывалы матэрыял, які часта выкарыстоўваецца ў будаўнічай галіне. Аднак ён таксама мае ўласцівасці, якія робяць яго карысным у вытворчасці паўправаднікоў, асабліва ў вырабе і апрацоўцы інтэграваных схем. Гранітныя кампаненты, такія як гранітныя табліцы і гранітныя блокі, шырока выкарыстоўваюцца для іх устойлівасці, плоскай і нізкага каэфіцыента цеплавога пашырэння.
У працэсе вырабу - адзін з асноўных ужыванняў гранітных кампанентаў у вытворчасці паўправаднікоў. Крэмніевыя пласціны, асноўныя будаўнічыя блокі ўбудаваных схем, павінны быць выраблены з высокай дакладнасцю і дакладнасцю. Любое скажэнне або рух падчас працэсу можа прывесці да дэфектаў, якія могуць паўплываць на якасць і функцыянальнасць інтэграваных схем. Гранітныя сталы, з іх высокай стабільнасцю і плоскасцю, забяспечваюць добрую платформу для абсталявання для перапрацоўкі пласцін. Яны таксама ўстойлівыя да цеплавога пашырэння і скарачэння, выкліканага нагрэвам і астуджэннем, неабходным у працэсе.
Гранітныя блокі таксама выкарыстоўваюцца ў паўправадніковай апрацоўцы для іх цеплавой устойлівасці. Падчас апрацоўкі або адкладу працэсы адкладу гарачыя газы або плазмы выкарыстоўваюцца для мадыфікацыі паверхні крэмнію пласціны. Тэмпературу пласціны неабходна кантраляваць, каб гарантаваць, што працэс ажыццяўляецца эфектыўна і дакладна. Гранітныя блокі з іх нізкім каэфіцыентам цеплавога пашырэння дапамагаюць стабілізаваць тэмпературу пласціны, зніжаючы рызыку ваганняў тэмпературы, якія могуць паўплываць на якасць апрацаванага матэрыялу.
Акрамя працэсаў вырабу і перапрацоўкі, на этапах метралогіі і інспекцыі паўправадніковых вырабаў таксама выкарыстоўваюцца гранітныя кампаненты. Вымярэнні метралогіі праводзяцца для забеспячэння памеру, формы і становішча структур на пласціне ў межах неабходных спецыфікацый. Гранітныя блокі выкарыстоўваюцца ў якасці эталонных стандартаў у гэтых вымярэннях з -за іх стабільнасці і дакладнасці. Яны таксама выкарыстоўваюцца на этапах праверкі, дзе якасць інтэграваных схем правяраецца пры высокім павелічэнні.
У цэлым выкарыстанне гранітных кампанентаў у вытворчасці паўправаднікоў павялічылася ў апошнія гады. Неабходнасць высокай дакладнасці, дакладнасці і ўстойлівасці ў вырабе і апрацоўцы інтэграваных схем прывяла да прыняцця гэтых матэрыялаў вытворцамі паўправаднікоў. Унікальныя ўласцівасці граніту, такія як яго цвёрдасць, стабільнасць і нізкі каэфіцыент цеплавога пашырэння, робяць яго выдатным выбарам для выкарыстання ў гэтых працэсах. З пастаянным развіццём і ўдасканаленнем паўправадніковых тэхналогій, як чакаецца, у будучыні выкарыстанне кампанентаў граніту будзе расці далей.
Час паведамлення: снежань 05-2023