Гранітныя кампаненты шырока выкарыстоўваюцца ў паўправадніковым абсталяванні дзякуючы сваёй высокай стабільнасці і даўгавечнасці. Яны адказваюць за падтрыманне дакладнасці і дбайнасці працэсаў вытворчасці паўправаднікоў. Аднак эфектыўнасць і надзейнасць гранітных кампанентаў залежаць ад стандартаў і спецыфікацый, якія выконваюцца падчас іх праектавання, вырабу і ўстаноўкі.
Ніжэй прыведзены некаторыя стандарты і спецыфікацыі, якіх неабходна прытрымлівацца пры выкарыстанні гранітных кампанентаў у паўправадніковым абсталяванні:
1. Шчыльнасць матэрыялу: Шчыльнасць гранітнага матэрыялу, які выкарыстоўваецца ў вытворчасці гранітных кампанентаў, павінна быць каля 2,65 г/см3. Гэта шчыльнасць натуральнага гранітнага матэрыялу, і яна забяспечвае стабільнасць і надзейнасць уласцівасцей гранітных кампанентаў.
2. Плоскасць: Плоскасць — адна з найважнейшых характарыстык гранітных кампанентаў, якія выкарыстоўваюцца ў паўправадніковым абсталяванні. Плоскасць паверхні граніту павінна быць меншай за 0,001 мм/м2. Гэта гарантуе, што паверхня кампанента роўная і гарызантальная, што вельмі важна для працэсаў вытворчасці паўправаднікоў.
3. Апрацоўка паверхні: Апрацоўка паверхні гранітных кампанентаў павінна быць высокай якасці, з шурпатасцю паверхні менш за 0,4 мкм. Гэта гарантуе нізкі каэфіцыент трэння паверхні гранітнага кампанента, што мае вырашальнае значэнне для бесперабойнай працы паўправадніковага абсталявання.
4. Каэфіцыент цеплавога пашырэння: Паўправадніковае абсталяванне працуе пры розных тэмпературах, і гранітныя кампаненты павінны вытрымліваць цеплавыя ваганні без дэфармацыі. Каэфіцыент цеплавога пашырэння граніту, які выкарыстоўваецца ў паўправадніковым абсталяванні, павінен быць ніжэй за 2 x 10^-6 /°C.
5. Дапушчальныя адхіленні памераў: Дапушчальныя адхіленні памераў маюць вырашальнае значэнне для прадукцыйнасці гранітных кампанентаў. Дапушчальныя адхіленні памераў гранітных кампанентаў павінны быць у межах ±0,1 мм для ўсіх крытычных памераў.
6. Цвёрдасць і зносаўстойлівасць: цвёрдасць і зносаўстойлівасць з'яўляюцца важнымі характарыстыкамі гранітных кампанентаў, якія выкарыстоўваюцца ў паўправадніковым абсталяванні. Граніт мае цвёрдасць па шкале Мооса 6-7, што робіць яго прыдатным матэрыялам для выкарыстання ў паўправадніковым абсталяванні.
7. Ізаляцыйныя характарыстыкі: Гранітныя кампаненты, якія выкарыстоўваюцца ў паўправадніковым абсталяванні, павінны мець выдатныя ізаляцыйныя характарыстыкі, каб прадухіліць пашкоджанне адчувальных электронных кампанентаў. Электрычнае супраціўленне павінна быць вышэй за 10^9 Ом/см.
8. Хімічная ўстойлівасць: Гранітныя кампаненты павінны быць устойлівымі да распаўсюджаных хімічных рэчываў, якія выкарыстоўваюцца ў працэсах вытворчасці паўправаднікоў, такіх як кіслоты і шчолачы.
У заключэнне, стандарты і спецыфікацыі для гранітных кампанентаў, якія выкарыстоўваюцца ў паўправадніковым абсталяванні, маюць вырашальнае значэнне для забеспячэння даўгавечнасці і надзейнасці як саміх кампанентаў, так і абсталявання, у якім яны выкарыстоўваюцца. Вышэйпаказаныя рэкамендацыі павінны строга выконвацца падчас праектавання, вырабу і ўстаноўкі, каб гарантаваць найвышэйшую якасць кампанентаў. Выконваючы гэтыя стандарты і спецыфікацыі, вытворцы паўправаднікоў могуць гарантаваць аптымальную прадукцыйнасць свайго абсталявання, што прывядзе да павышэння прадукцыйнасці і прыбытковасці.
Час публікацыі: 20 сакавіка 2024 г.