Кампаненты з граніту шырока выкарыстоўваюцца ў паўправадніковым абсталяванні дзякуючы сваёй высокай стабільнасці і даўгавечнасці.Яны адказваюць за падтрыманне дакладнасці і дакладнасці працэсаў вытворчасці паўправаднікоў.Аднак эфектыўнасць і надзейнасць гранітных кампанентаў залежыць ад стандартаў і спецыфікацый, якія прытрымліваюцца падчас іх праектавання, вырабу і мантажу.
Ніжэй прыведзены некаторыя стандарты і спецыфікацыі, якіх неабходна прытрымлівацца пры выкарыстанні гранітных кампанентаў у паўправадніковым абсталяванні:
1. Шчыльнасць матэрыялу: Шчыльнасць гранітнага матэрыялу, які выкарыстоўваецца ў вытворчасці гранітных кампанентаў, павінна быць каля 2,65 г/см3.Гэта такая шчыльнасць натуральнага гранітнага матэрыялу, якая забяспечвае стабільнасць і надзейнасць уласцівасцяў гранітных кампанентаў.
2. Плоскасць: Плоскасць - адна з найважнейшых характарыстык гранітных кампанентаў, якія выкарыстоўваюцца ў паўправадніковым абсталяванні.Плоскасць гранітнай паверхні павінна быць ніжэй за 0,001 мм/м2.Гэта гарантуе, што паверхня кампанента роўная і роўная, што важна для працэсаў вытворчасці паўправаднікоў.
3. Аздабленне паверхні: аздабленне паверхні гранітных кампанентаў павінна быць высокай якасці, з шурпатасцю паверхні ніжэй за 0,4 мкм.Гэта гарантуе, што паверхня гранітнага кампанента мае нізкі каэфіцыент трэння, што вельмі важна для бесперабойнай працы паўправадніковага абсталявання.
4. Каэфіцыент цеплавога пашырэння: паўправадніковая апаратура працуе пры розных тэмпературах, і гранітныя кампаненты павінны вытрымліваць цеплавыя ваганні без дэфармацыі.Каэфіцыент цеплавога пашырэння граніту, які выкарыстоўваецца ў паўправадніковым абсталяванні, павінен быць ніжэй за 2 x 10^-6 /°C.
5. Памяркоўнасць памераў: Памяркоўнасць памераў мае вырашальнае значэнне для прадукцыйнасці гранітных кампанентаў.Дапушчальнае адхіленне памераў гранітных кампанентаў павінна быць у межах ±0,1 мм для ўсіх крытычных памераў.
6. Цвёрдасць і зносаўстойлівасць: цвёрдасць і зносаўстойлівасць з'яўляюцца важнымі характарыстыкамі для гранітных кампанентаў, якія выкарыстоўваюцца ў паўправадніковым абсталяванні.Граніт мае цвёрдасць па шкале Мооса 6-7, што робіць яго прыдатным матэрыялам для выкарыстання ў паўправадніковым абсталяванні.
7. Прадукцыйнасць ізаляцыі: Гранітныя кампаненты, якія выкарыстоўваюцца ў паўправадніковым абсталяванні, павінны мець выдатныя характарыстыкі ізаляцыі, каб прадухіліць пашкоджанне адчувальных электронных кампанентаў.Электрычнае супраціўленне павінна быць вышэй за 10^9 Ом/см.
8. Хімічная ўстойлівасць: гранітныя кампаненты павінны быць устойлівымі да звычайных хімічных рэчываў, якія выкарыстоўваюцца ў працэсах вытворчасці паўправаднікоў, такіх як кіслоты і шчолачы.
У заключэнне, стандарты і спецыфікацыі для гранітных кампанентаў, якія выкарыстоўваюцца ў паўправадніковым абсталяванні, маюць вырашальнае значэнне для забеспячэння даўгавечнасці і надзейнасці як кампанентаў, так і абсталявання, у якім яны выкарыстоўваюцца. Вышэйзгаданыя рэкамендацыі павінны строга прытрымлівацца падчас праектавання, вырабу і ўстаноўкі працэсаў, каб гарантаваць, што кампаненты маюць высокую якасць.Прытрымліваючыся гэтых стандартаў і спецыфікацый, вытворцы паўправаднікоў могуць гарантаваць, што прадукцыйнасць іх абсталявання застанецца аптымальнай, што прывядзе да павышэння прадукцыйнасці і прыбытковасці.
Час публікацыі: 20 сакавіка 2024 г