Гранітныя кампаненты шырока выкарыстоўваюцца ў паўправадніковым абсталяванні з -за высокай стабільнасці і даўгавечнасці. Яны нясуць адказнасць за падтрыманне дакладнасці і дакладнасці працэсаў вытворчасці паўправаднікоў. Аднак эфектыўнасць і надзейнасць гранітных кампанентаў залежаць ад стандартаў і тэхнічных характарыстык, якія падтрымліваюцца падчас іх распрацоўкі, вырабу і ўстаноўкі.
Ніжэй прыведзены некаторыя стандарты і тэхнічныя характарыстыкі, якія неабходна прытрымлівацца пры выкарыстанні гранітных кампанентаў у паўправадніковым абсталяванні:
1. Шчыльнасць матэрыялу: Шчыльнасць гранітнага матэрыялу, які выкарыстоўваецца пры вытворчасці гранітных кампанентаў, павінна складаць каля 2,65 г/см3. Гэта шчыльнасць натуральнага гранітнага матэрыялу, і ён забяспечвае ўзгодненасць і надзейнасць ва ўласцівасцях гранітных кампанентаў.
2. Плоскасць: Плоскасць - гэта адна з самых важных спецыфікацый для гранітных кампанентаў, якія выкарыстоўваюцца ў паўправадніковым абсталяванні. Плоскасць паверхні граніту павінна быць ніжэй 0,001 мм/м2. Гэта гарантуе, што паверхня кампанента з'яўляецца плоскай і ўзроўню, што мае важнае значэнне для працэсаў вытворчасці паўправаднікоў.
3. Аздабленне паверхні: аздабленне паверхні гранітных кампанентаў павінна быць высокай якасці, з шурпатай паверхні ніжэй 0,4 мкм. Гэта гарантуе, што паверхня гранітнага кампанента мае нізкі каэфіцыент трэння, што мае вырашальнае значэнне для бесперабойнай працы паўправадніковага абсталявання.
4. Каэфіцыент цеплавога пашырэння: паўправадніковае абсталяванне працуе пры розных тэмпературах, а гранітныя кампаненты павінны вытрымліваць цеплавыя ваганні без дэфармацыі. Каэфіцыент тэрмічнага пашырэння граніту, які выкарыстоўваецца ў паўправадніковым абсталяванні, павінен быць ніжэй за 2 х 10^-6 /° С.
5. Памерная талерантнасць: Памерная талерантнасць мае вырашальнае значэнне для прадукцыйнасці кампанентаў граніту. Памерная талерантнасць да гранітных кампанентаў павінна быць у межах ± 0,1 мм для ўсіх крытычных памераў.
6. Цвёрдасць і зносаўстойлівасць: цвёрдасць і зносаўстойлівасць - важныя характарыстыкі для гранітных кампанентаў, якія выкарыстоўваюцца ў паўправадніковым абсталяванні. Граніт мае цвёрдасць маштабу MOHS 6-7, што робіць яго прыдатным матэрыялам для выкарыстання ў прыкладаннях паўправадніковага абсталявання.
7. Электрычны супраціў павінен быць вышэй 10^9 Ом/см.
8. Хімічная ўстойлівасць: Гранітныя кампаненты павінны быць устойлівымі да звычайных хімічных рэчываў, якія выкарыстоўваюцца ў працэсах вытворчасці паўправаднікоў, такіх як кіслоты і шчолачы.
У заключэнне, стандарты і тэхнічныя характарыстыкі для гранітных кампанентаў, якія выкарыстоўваюцца ў паўправадніковым абсталяванні, маюць вырашальнае значэнне для забеспячэння даўгавечнасці і надзейнасці як кампанентаў, так і абсталявання, у якім яны выкарыстоўваюцца. Прыведзеныя вышэй рэкамендацыі павінны быць строга прытрымлівацца падчас распрацоўкі, вырабу і ўстаноўкі, каб забяспечыць кампаненты найвышэйшай якасці. Выконваючы гэтыя стандарты і тэхнічныя характарыстыкі, вытворцы паўправаднікоў могуць гарантаваць, што прадукцыйнасць іх абсталявання застаецца аптымальнай, што прывядзе да павышэння прадукцыйнасці і рэнтабельнасці.
Час паведамлення: сакавік-20-2024