Граніт быў шырока выкарыстоўваным матэрыялам у паўправадніковай прамысловасці дзякуючы выдатным механічным уласцівасцям, тэрмічнай стабільнасці і нізкаму каэфіцыенту цеплавога пашырэння.Аднак з пастаянна расце попытам на больш высокую дакладнасць і прадукцыйнасць, альтэрнатыўныя матэрыялы з'явіліся ў якасці жыццяздольных варыянтаў для вырабу кампанентаў паўправадніковага абсталявання.У гэтым артыкуле мы вывучым некаторыя альтэрнатыўныя матэрыялы для гранітных дэталяў паўправадніковага абсталявання і параўнаем іх перавагі і недахопы.
Альтэрнатыўныя матэрыялы для гранітных дэталяў
1. Шклокерамічныя матэрыялы
Шклокерамічныя матэрыялы, такія як Zerodur і Cervit, атрымалі шырокае прымяненне ў паўправадніковай прамысловасці дзякуючы нізкаму каэфіцыенту цеплавога пашырэння, блізкаму да крэмнію.Такім чынам, гэтыя матэрыялы могуць забяспечыць лепшую тэрмічную стабільнасць і павышаную дакладнасць у працэсе вытворчасці паўправаднікоў.Zerodur, у прыватнасці, мае высокую ступень аднастайнасці і стабільнасці, што робіць яго прыдатным для вытворчасці літаграфічнага абсталявання.
Перавагі:
- Нізкі каэфіцыент цеплавога пашырэння
- Высокая дакладнасць і стабільнасць
- Падыходзіць для прымянення пры высокіх тэмпературах
Недахопы:
- Больш высокі кошт у параўнанні з гранітам
- Адносна далікатны, можа выклікаць праблемы пры апрацоўцы і звароце
2. Кераміка
Керамічныя матэрыялы, такія як аксід алюмінію (Al2O3), карбід крэмнію (SiC) і нітрыд крэмнію (Si3N4), валодаюць выдатнымі механічнымі ўласцівасцямі, устойлівасцю да высокіх тэмператур і нізкім каэфіцыентам цеплавога пашырэння.Гэтыя ўласцівасці робяць кераміку ідэальнай для дэталяў паўправадніковага абсталявання, якія патрабуюць высокай тэрмічнай стабільнасці і дакладнасці, такіх як падкладкі і патроны.
Перавагі:
- Высокая тэрмічная стабільнасць і трываласць
- Нізкі каэфіцыент цеплавога пашырэння
- Высокая зносаўстойлівасць і хімічная інэртнасць
Недахопы:
- Можа быць далікатным і схільным да парэпання, асабліва падчас механічнай апрацоўкі і выкарыстання
- Апрацоўка і паліроўка керамікі можа быць складанай і працаёмкай
3. Металы
Матэрыялы на аснове металаў, такія як нержавеючая сталь і тытан, выкарыстоўваліся для некаторых частак паўправадніковага абсталявання дзякуючы іх выдатнай апрацоўцы і высокай трываласці.Яны звычайна выкарыстоўваюцца там, дзе не патрабуецца высокая тэрмічная стабільнасць, напрыклад, у частках камеры, муфтах і скразняках.
Перавагі:
- Добрая апрацоўваемасць і зварвальнасць
- Высокая трываласць і пластычнасць
- Нізкі кошт у параўнанні з некаторымі альтэрнатыўнымі матэрыяламі
Недахопы:
- Высокі каэфіцыент цеплавога пашырэння
- Не падыходзіць для прымянення пры высокіх тэмпературах з-за праблем з цеплавым пашырэннем
- Успрымальны да карозіі і забруджванням
Выснова:
Падводзячы вынік, у той час як граніт быў папулярным выбарам для дэталяў паўправадніковага абсталявання, з'явіліся альтэрнатыўныя матэрыялы, кожны з якіх мае унікальныя перавагі і недахопы.Шклокерамічныя матэрыялы вельмі дакладныя і ўстойлівыя, але могуць быць далікатнымі.Кераміка трывалая і мае выдатную тэрмаўстойлівасць, але можа таксама быць далікатнай, што робіць яе больш складанай у вытворчасці.Металы недарагія, паддаюцца механічнай апрацоўцы і пластычныя, але яны маюць больш высокі каэфіцыент цеплавога пашырэння і схільныя карозіі і забруджванням.Пры выбары матэрыялаў для паўправадніковага абсталявання вельмі важна ўлічваць канкрэтныя патрабаванні прымянення і выбіраць матэрыялы, якія забяспечваюць баланс кошту, прадукцыйнасці і надзейнасці.
Час публікацыі: 19 сакавіка 2024 г