Граніт быў агульнапрынятым матэрыялам у паўправадніковай галіне для сваіх выдатных механічных уласцівасцей, цеплавой устойлівасці і нізкага каэфіцыента цеплавога пашырэння. Аднак з пастаянна павялічваецца попыт на павышэнне дакладнасці і прадукцыйнасці, альтэрнатыўныя матэрыялы ўзніклі ў якасці жыццяздольных варыянтаў вырабу кампанентаў паўправадніковага абсталявання. У гэтым артыкуле мы вывучым некаторыя альтэрнатыўныя матэрыялы для гранітных дэталяў у паўправадніковым абсталяванні і параўноўваем іх перавагі і недахопы.
Альтэрнатыўныя матэрыялы для гранітных дэталяў
1. Шкляна-керамічныя матэрыялы
Шкляна-керамічныя матэрыялы, такія як Zerodur і Cervit, атрымалі шырокае выкарыстанне ў паўправадніковай галіне з-за іх нізкага каэфіцыента цеплавога пашырэння, які блізкі да крэмнію. Такім чынам, гэтыя матэрыялы могуць забяспечыць лепшую цеплавую ўстойлівасць і павышаную дакладнасць у працэсе паўправадніковага вырабу. У прыватнасці, Zerodur мае высокую ступень аднастайнасці і ўстойлівасці, што робіць яго прыдатным для вырабу літаграфічнага абсталявання.
Перавагі:
- Нізкі каэфіцыент цеплавога пашырэння
- Высокая дакладнасць і стабільнасць
- Падыходзіць для высокатэмпературных прыкладанняў
Недахопы:
- Больш высокі кошт у параўнанні з гранітам
- Адносна далікатны, можа ствараць праблемы ў апрацоўцы і кіраванні
2. Кераміка
Керамічныя матэрыялы, такія як аксід алюмінія (AL2O3), карбід крэмнію (SIC) і нітрыд крэмнію (SI3N4), валодаюць выдатнымі механічнымі ўласцівасцямі, высокатэмпературным супрацівам і нізкім каэфіцыентам цеплавога пашырэння. Гэтыя ўласцівасці робяць кераміку ідэальнай для дэталяў паўправадніковага абсталявання, якія патрабуюць высокай цеплавой устойлівасці і дакладнасці, напрыклад, стадыі пласціны і патронаў.
Перавагі:
- Высокая цеплавая ўстойлівасць і сіла
- нізкі каэфіцыент цеплавога пашырэння
- Высокая ўстойлівасць да зносу і хімічная інертнасць
Недахопы:
- Можа быць далікатным і схільным да трэску, асабліва падчас апрацоўкі і апрацоўкі
- Апрацоўка і паліроўка керамікі могуць быць складанымі і працаёмкімі
3. Металы
Металічныя матэрыялы, такія як нержавеючая сталь і тытан, выкарыстоўваліся для некаторых дэталяў паўправадніковага абсталявання з-за іх выдатнай апрацоўкі і высокай трываласці. Яны звычайна выкарыстоўваюцца ў дадатках, дзе не патрабуецца высокая цеплавая ўстойлівасць, напрыклад, часткі камеры, муфты і падачы.
Перавагі:
- добрая апрацоўка і зварнасць
- Высокая трываласць і пластычнасць
- Нізкі кошт у параўнанні з некаторымі альтэрнатыўнымі матэрыяламі
Недахопы:
- Высокі каэфіцыент цеплавога пашырэння
- Не падыходзіць для высокатэмпературных прыкладанняў з-за праблем з цеплавым пашырэннем
- адчувальны да карозіі і забруджвання
Выснова:
Такім чынам, у той час як граніт быў папулярным выбарам для дэталяў паўправадніковага абсталявання, з'явіліся альтэрнатыўныя матэрыялы, кожны з унікальнымі перавагамі і недахопамі. Шкляна-керамічныя матэрыялы вельмі дакладныя і стабільныя, але могуць быць далікатнымі. Кераміка моцная і мае выдатную цеплавую ўстойлівасць, але можа быць і далікатнай, што робіць іх больш складанымі для вырабу. Металы недарагія, машынныя і пластычныя, але яны маюць больш высокі каэфіцыент цеплавога пашырэння і адчувальныя да карозіі і забруджвання. Пры выбары матэрыялаў для паўправадніковага абсталявання вельмі важна ўлічваць канкрэтныя патрабаванні прыкладання і выбраць матэрыялы, якія ўраўнаважваюць кошт, прадукцыйнасць і надзейнасць.
Час паведамлення: сакавік 19-2024