Граніт з'яўляецца шырока выкарыстоўваным матэрыялам у паўправадніковай прамысловасці дзякуючы сваім выдатным механічным уласцівасцям, тэрмічнай стабільнасці і нізкаму каэфіцыенту цеплавога пашырэння. Аднак з пастаянна ўзрастаючым попытам на больш высокую дакладнасць і прадукцыйнасць з'явіліся альтэрнатыўныя матэрыялы ў якасці жыццяздольных варыянтаў для вырабу кампанентаў паўправадніковага абсталявання. У гэтым артыкуле мы разгледзім некаторыя альтэрнатыўныя матэрыялы для гранітных дэталяў у паўправадніковым абсталяванні і параўнаем іх перавагі і недахопы.
Альтэрнатыўныя матэрыялы для гранітных дэталяў
1. Шклокерамічныя матэрыялы
Шклокерамічныя матэрыялы, такія як Zerodur і Cervit, атрымалі шырокае прымяненне ў паўправадніковай прамысловасці дзякуючы нізкаму каэфіцыенту цеплавога пашырэння, які блізкі да каэфіцыента крэмнію. Такім чынам, гэтыя матэрыялы могуць забяспечыць лепшую тэрмічную стабільнасць і павышаную дакладнасць у працэсе вырабу паўправаднікоў. Zerodur, у прыватнасці, мае высокую ступень аднастайнасці і стабільнасці, што робіць яго прыдатным для вырабу літаграфічнага абсталявання.
Перавагі:
- Нізкі каэфіцыент цеплавога пашырэння
- Высокая дакладнасць і стабільнасць
- Падыходзіць для выкарыстання пры высокіх тэмпературах
Недахопы:
- Больш высокі кошт у параўнанні з гранітам
- Адносна далікатны, можа ствараць праблемы пры апрацоўцы і апрацоўцы
2. Кераміка
Керамічныя матэрыялы, такія як аксід алюмінію (Al2O3), карбід крэмнію (SiC) і нітрыд крэмнію (Si3N4), валодаюць выдатнымі механічнымі ўласцівасцямі, устойлівасцю да высокіх тэмператур і нізкім каэфіцыентам цеплавога пашырэння. Гэтыя ўласцівасці робяць кераміку ідэальнай для дэталяў паўправадніковага абсталявання, якія патрабуюць высокай тэрмічнай стабільнасці і дакладнасці, такіх як пласцінныя платформы і патроны.
Перавагі:
- Высокая тэрмічная стабільнасць і трываласць
- Нізкі каэфіцыент цеплавога пашырэння
- Высокая зносаўстойлівасць і хімічная інертнасць
Недахопы:
- Можа быць далікатным і схільным да расколін, асабліва падчас апрацоўкі і апрацоўкі
- Апрацоўка і паліроўка керамікі можа быць складанай і працаёмкай.
3. Металы
Такія металічныя матэрыялы, як нержавеючая сталь і тытан, выкарыстоўваюцца для вырабу некаторых дэталяў паўправадніковага абсталявання дзякуючы іх выдатнай апрацоўцы і высокай трываласці. Яны звычайна выкарыстоўваюцца ў тых выпадках, калі не патрабуецца высокая тэрмічная стабільнасць, напрыклад, у дэталях камер, муфтах і праходных адтулінах.
Перавагі:
- Добрая апрацоўваемасць і зварваемасць
- Высокая трываласць і пластычнасць
- Нізкі кошт у параўнанні з некаторымі альтэрнатыўнымі матэрыяламі
Недахопы:
- Высокі каэфіцыент цеплавога пашырэння
- Не падыходзіць для выкарыстання пры высокіх тэмпературах з-за праблем з цеплавым пашырэннем
- Успрымальны да карозіі і забруджвання
Выснова:
Карацей кажучы, хоць граніт і быў папулярным выбарам для вырабу дэталяў паўправадніковага абсталявання, з'явіліся альтэрнатыўныя матэрыялы, кожны з якіх мае свае ўнікальныя перавагі і недахопы. Шклокерамічныя матэрыялы вельмі дакладныя і стабільныя, але могуць быць далікатнымі. Кераміка трывалая і мае выдатную тэрмічную стабільнасць, але таксама можа быць далікатнай, што робіць яе вытворчасць больш складанай. Металы недарагія, лёгка апрацоўваюцца і пластычныя, але яны маюць больш высокі каэфіцыент цеплавога пашырэння і схільныя да карозіі і забруджвання. Пры выбары матэрыялаў для паўправадніковага абсталявання вельмі важна ўлічваць канкрэтныя патрабаванні прымянення і выбіраць матэрыялы, якія збалансуюць кошт, прадукцыйнасць і надзейнасць.
Час публікацыі: 19 сакавіка 2024 г.