У галіне вытворчасці паўправаднікоў абсталяванне для аўтаматычнага аптычнага кантролю (AOI) адыгрывае вырашальную ролю ў забеспячэнні якасці мікрасхем. Нават нязначнае паляпшэнне дакладнасці яго выяўлення можа прывесці да велізарных змен ва ўсёй галіне. База абсталявання, як ключавы кампанент, аказвае істотны ўплыў на дакладнасць выяўлення. У апошнія гады ў галіне адбылася рэвалюцыя ў базавых матэрыялах. Граніт, з яго выдатнымі характарыстыкамі падаўлення вібрацыі, паступова замяніў традыцыйныя чыгунныя матэрыялы і стаў новым фаварытам абсталявання для AOI-кантролю. Яго эфектыўнасць падаўлення вібрацыі павялічылася на 92% у параўнанні з чыгунам. Якія тэхналагічныя прарывы і змены ў галіны стаяць за гэтымі дадзенымі?
Строгія патрабаванні да вібрацыі ў абсталяванні для кантролю AOI паўправаднікоў
Працэс вытворчасці паўправадніковых чыпаў увайшоў у нанамаштабную эру. Падчас працэсу кантролю AOI нават вельмі малыя вібрацыі могуць выклікаць адхіленні ў выніках кантролю. Дробныя драпіны, пустэчы і іншыя дэфекты на паверхні чыпа часта знаходзяцца на мікраметровым або нават нанаметровым узроўні. Аптычныя лінзы абсталявання для выяўлення павінны фіксаваць гэтыя дэталі з надзвычай высокай дакладнасцю. Любая вібрацыя, якая перадаецца асновай, прывядзе да зрушэння або дрыгацення лінзы, што прывядзе да размытага атрымання выявы і тым самым паўплывае на дакладнасць распазнавання дэфектаў.
Калісьці чыгун шырока выкарыстоўваўся ў асновах абсталявання для інспекцыі AOI, бо ён валодае пэўнай трываласцю і тэхналагічнай прадукцыйнасцю, а кошт адносна нізкі. Аднак з пункту гледжання падаўлення вібрацый, чыгун мае відавочныя недахопы. Унутраная структура чыгуну змяшчае вялікую колькасць графітавых лістоў, якія эквівалентныя малюсенькім пустэчам унутры і парушаюць цэласнасць матэрыялу. Калі абсталяванне працуе і генеруе вібрацыю або падвяргаецца ўздзеянню знешніх вібрацый навакольнага асяроддзя, энергія вібрацыі не можа быць эфектыўна аслаблена ў чыгуне, а пастаянна адлюстроўваецца і накладваецца паміж графітавым лістом і матрыцай, што прыводзіць да бесперапыннага распаўсюджвання вібрацыі. Адпаведныя эксперыменты паказваюць, што пасля ўздзеяння знешніх вібрацый на чыгунную аснову час аслаблення вібрацыі можа доўжыцца некалькі секунд, што сур'ёзна ўплывае на дакладнасць выяўлення на працягу гэтага перыяду. Акрамя таго, модуль пругкасці чыгуну адносна нізкі. Пры працяглым уздзеянні сілы цяжару і вібрацыйных нагрузак на абсталяванне ён схільны да дэфармацыі, што яшчэ больш узмацняе перадачу вібрацыі.
Сакрэт павышэння эфектыўнасці падаўлення вібрацыі гранітных падставак на 92%
Граніт, як від прыроднага каменя, у выніку геалагічных працэсаў на працягу соцень мільёнаў гадоў сфармаваў надзвычай шчыльную і аднастайную ўнутраную структуру. Ён у асноўным складаецца з мінеральных крышталяў, такіх як кварц і палявы шпат, цесна звязаных паміж сабой, а хімічныя сувязі паміж крышталямі моцныя і стабільныя. Гэтая структура надае граніту выдатную здольнасць падаўляць вібрацыі. Калі вібрацыя перадаецца на гранітную аснову, мінеральныя крышталі ўнутры яго могуць хутка пераўтвараць энергію вібрацыі ў цеплавую энергію і рассейваць яе. Даследаванні паказваюць, што дэмпфіраванне граніту ў некалькі разоў вышэйшае, чым у чыгуну, што азначае, што ён можа больш эфектыўна паглынаць энергію вібрацыі, памяншаючы амплітуду і працягласць вібрацыі. Пасля прафесійных выпрабаванняў пры тых жа ўмовах узбуджэння вібрацыі час затухання вібрацыі гранітнай асновы складае ўсяго 8% ад часу затухання вібрацыі чыгуну, а эфектыўнасць падаўлення вібрацыі павялічылася на 92%.
Высокая цвёрдасць і высокі модуль пругкасці граніту таксама ўносяць значны ўклад. Высокая цвёрдасць гарантуе, што аснова менш схільная да дэфармацыі пад вагай абсталявання і ўздзеяннем знешніх сіл, і заўсёды захоўвае стабільны апорны стан. Высокі модуль пругкасці гарантуе, што аснова можа хутка вярнуцца да сваёй першапачатковай формы пры ўздзеянні вібрацыі, памяншаючы назапашванне вібрацыі. Акрамя таго, граніт мае выдатную тэрмічную стабільнасць і практычна не залежыць ад змен тэмпературы навакольнага асяроддзя, пазбягаючы цеплавога пашырэння і сціскання, выкліканых ваганнямі тэмпературы, тым самым дадаткова забяспечваючы стабільнасць прадукцыйнасці падаўлення вібрацыі.
Трансфармацыя галіны і перспектывы, выкліканыя гранітнымі падставамі
Абсталяванне для інспекцыі AOI з гранітнай асновай значна палепшыла дакладнасць выяўлення. Яно можа надзейна выяўляць дэфекты ў стружках меншага памеру, зніжаючы ўзровень памылак да 1% і значна павялічваючы выхад стружкі. Адначасова палепшылася стабільнасць абсталявання, што дазволіла знізіць колькасць адключэнняў для тэхнічнага абслугоўвання з-за вібрацыі, падоўжыць тэрмін службы абсталявання і знізіць агульныя эксплуатацыйныя выдаткі.
Час публікацыі: 14 мая 2025 г.