У галіне высокатэхналагічнай вытворчасці і перадавых навуковых даследаванняў высокадакладная платформа для перамяшчэння з пнеўматычным рухам з высокім статычным ціскам з'яўляецца ключавым абсталяваннем для дасягнення звышдакладнай працы. Гранітная дакладная аснова з'яўляецца асноўнай апорнай часткай платформы, і яе прадукцыйнасць цесна звязана з рабочым асяроддзем. Разуменне і выкананне гэтых экалагічных патрабаванняў можа не толькі забяспечыць высокадакладную працу платформы, але і з'яўляецца важнай часткай павышэння канкурэнтаздольнасці прадпрыемства ў сумежных галінах, што падрабязна апісана ніжэй.
1. Тэмпература: дакладны кантроль для забеспячэння стабільнасці памераў
Нягледзячы на тое, што граніт вядомы сваёй стабільнасцю, яго каэфіцыент цеплавога пашырэння не роўны нулю, і невялікія змены тэмпературы могуць паўплываць на дакладнасць яго памераў. У цэлым, каэфіцыент цеплавога пашырэння граніту складае 5-7 ×10⁻⁶/℃. Пры выкарыстанні дакладнай платформы з паветраным рухам і статычным ціскам гэта нязначнае змяненне ўзмацняецца платформай, што можа прывесці да адхілення дакладнасці руху. Напрыклад, у працэсе вытворчасці паўправадніковых чыпаў, пры літаграфіі, для дакладнасці пазіцыянавання ўзроўню Данамі, пры ваганні тэмпературы навакольнага асяроддзя на 1°C даўжыня боку гранітнай асновы можа прывесці да лінейнага пашырэння або сціскання на 5-7 мікронаў, чаго дастаткова, каб адхіліць малюнак літаграфіі чыпа і знізіць выхад прадукцыі. Такім чынам, ідэальная тэмпература рабочага асяроддзя для дакладнай платформы з паветраным рухам і статычным ціскам, абсталяванай дакладнай гранітнай асновай, павінна строга кантралявацца на ўзроўні 20°C ±1°C. Прадпрыемствы могуць усталяваць высокадакладную сістэму кандыцыянавання паветра з пастаяннай тэмпературай, пастаянна кантраляваць і дакладна рэгуляваць тэмпературу навакольнага асяроддзя, падтрымліваць стабільнасць памеру гранітнай асновы, каб забяспечыць высокадакладную працу платформы.
2. вільготнасць: разумны кантроль, абарона базавай прадукцыйнасці
Вільготнасць таксама аказвае значны ўплыў на дакладныя гранітныя асновы. Ва ўмовах высокай вільготнасці граніт лёгка паглынае вадзяную пару, і на паверхні можа ўтварацца кандэнсат, што не толькі перашкаджае нармальнай працы сістэмы паветранай флотацыі, але і прыводзіць да доўгатэрміновай эрозіі паверхні граніту, зніжаючы яе дакладнасць і тэрмін службы. Возьмем у якасці прыкладу майстэрню па шліфаванні аптычных лінзаў: калі вільготнасць доўга перавышае 60% адноснай вільготнасці, вадзяная пара, якая адсарбуецца на паверхні гранітнай асновы, разбурыць аднастайнасць плёнкі паветранай флотацыі, што прывядзе да зніжэння дакладнасці шліфоўкі лінзаў і дэфектаў паверхні. Такім чынам, адносную вільготнасць працоўнага асяроддзя неабходна кантраляваць у межах 40-60% адноснай вільготнасці. Прадпрыемствы могуць выкарыстоўваць асушальнікі паветра, датчыкі вільготнасці і іншае абсталяванне для маніторынгу і кантролю вільготнасці ў рэжыме рэальнага часу, стварэння адпаведнага асяроддзя вільготнасці для дакладнай гранітнай асновы і забеспячэння стабільнай працы дакладнай платформы паветранай флотацыі са статычным ціскам.
3. чысціня: строгі кантроль, ліквідацыя перашкод часціц
Часцінкі пылу з'яўляюцца "ворагам" платформы для перамяшчэння паветра пад ціскам высокай дакладнасці і наносяць вялікую шкоду гранітнай дакладнай аснове. Пасля таго, як драбнюткія часцінкі трапляюць у зазор газавай плёнкі паміж паўзунком газавага паплаўка і гранітнай асновай, яны могуць парушыць аднастайнасць газавай плёнкі, павялічыць трэнне і нават падрапаць паверхню асновы, што сур'ёзна ўплывае на дакладнасць руху платформы. У цэху звышдакладнай апрацоўкі авіяцыйных дэталяў, калі часцінкі пылу з паветра трапляюць на гранітную аснову, траекторыя руху апрацоўчага інструмента можа адхіляцца, што ўплывае на дакладнасць апрацоўкі дэталяў. Таму рабочая зона павінна падтрымлівацца ў высокай чысціні і дасягаць стандарту чысціні 10 000 або нават вышэй. Прадпрыемствы могуць фільтраваць часцінкі пылу ў паветры, усталяваўшы высокаэфектыўныя паветраныя фільтры (HEPA), і патрабуючы ад персаналу насіць вопратку, бахілы і г.д., каб паменшыць колькасць пылу, які прыносіць чалавек, і падтрымліваць высокадакладнае асяроддзе працы гранітнай асновы і платформы для перамяшчэння паветра пад ціскам высокай дакладнасці.
4. Вібрацыя: эфектыўная ізаляцыя для стварэння гладкай прасторы
Знешняя вібрацыя будзе сур'ёзна перашкаджаць дакладнасці працы пнеўматычнай платформы з высокай статычнай вібрацыяй. Нягледзячы на тое, што дакладная гранітная аснова мае пэўную здольнасць гасіць вібрацыі, высокая трываласць вібрацыі ўсё ж можа парушыць яе буферную мяжу. Вібрацыя, якая ўзнікае ў выніку руху транспарту вакол завода і працы буйнога механічнага абсталявання, перадаецца на гранітную аснову праз зямлю, што будзе перашкаджаць дакладнасці руху платформы. У высакаякасных КІМ вібрацыя можа прывесці да нестабільнасці кантакту паміж вымяральным зондам і вымяральнай дэталлю, што прывядзе да адхілення дадзеных вымярэнняў. Каб вырашыць гэтую праблему, неабходна прыняць эфектыўныя меры вібраізаляцыі, такія як пракладка вібраізаляцыйных пракладак у зоне ўстаноўкі абсталявання, будаўніцтва вібраізаляцыйнага падмурка або выкарыстанне актыўнай сістэмы вібраізаляцыі для актыўнай кампенсацыі знешніх вібрацый і стварэння ціхага і стабільнага працоўнага асяроддзя для гранітнай дакладнай асновы і дакладнай пнеўматычнай платформы з высокай статычнай вібрацыяй.
Выкананне вышэйзгаданых экалагічных патрабаванняў дазваляе ў поўнай меры рэалізаваць перавагі гранітнай дакладнай асновы ў дакладнай платформе з пнеўматычнай плавучай перамяшчэннем пад статычным ціскам, каб забяспечыць высокую дакладнасць і стабільнасць кіравання рухам для розных галін прамысловасці. Калі прадпрыемствы змогуць звярнуць увагу на гэтыя дэталі ў вытворчым асяроддзі, яны скарыстаюцца магчымасцю ў дакладнай вытворчасці, навуковых даследаваннях і іншых галінах, павысяць сваю канкурэнтаздольнасць і дасягнуць устойлівага развіцця.
Час публікацыі: 10 красавіка 2025 г.