У свеце вытворчасці паўправаднікоў з высокімі стаўкамі, дзе кампаненты вымяраюцца ў нанаметрах, а вытворчыя дапушчэнні патрабуюць мікраскапічнай дакладнасці, падмурак, на якім будуюцца гэтыя тэхналогіі, становіцца нябачным, але неабходным. У ZHHIMG мы дзесяцігоддзямі ўдасканальвалі мастацтва і навуку вырабу звышдакладных гранітных кампанентаў — невядомых герояў, якія дазваляюць ствараць самыя перадавыя вытворчыя працэсы сёння. Як сусветны лідэр у галіне дакладных гранітных рашэнняў, мы з гонарам дзелімся тым, як наш чорны граніт шчыльнасцю 3100 кг/м³ пераасэнсоўвае магчымасці паўправадніковай літаграфіі, метралагічных сістэм і перадавых вытворчых платформаў па ўсім свеце.
Аснова сучаснай дакладнасці: чаму граніт?
Калі вытворцы паўправаднікоў вырабляюць чыпы з выкарыстаннем 3-нм вузловай тэхналогіі, дзе шырыня транзістараў набліжаецца да памеру асобных атамаў, яны абапіраюцца на абсталяванне, якое павінна падтрымліваць стабільнасць на атамным узроўні. Менавіта тут унікальныя ўласцівасці граніту становяцца незаменнымі. У адрозненне ад металічных сплаваў, якія пашыраюцца пры ваганнях тэмпературы, або сінтэтычных кампазітаў, якія не маюць доўгатэрміновай памернай стабільнасці, наш запатэнтаваны чорны граніт ZHHIMG® валодае выключнай цеплавой інерцыяй і здольнасцю гасіць вібрацыі. З шчыльнасцю 3100 кг/м³, што значна вышэй за шчыльнасць стандартнага еўрапейскага граніту (звычайна 2600-2800 кг/м³), наш матэрыял забяспечвае найлепшую стабільную платформу для сістэм дакладнага кіравання рухам.
Улічыце праблемы літаграфіі ў экстрэмальным ультрафіялетавым (EUV) выпраменьванні, дзе аптычныя сістэмы павінны падтрымліваць субнанаметровае выраўноўванне на працягу некалькіх гадзін працы. Гранітная аснова, на якой знаходзяцца гэтыя сістэмы, павінна супраціўляцца нават мікраскапічным вібрацыям ад заводскага абсталявання або змен навакольнага асяроддзя. Згодна з параўнальнымі выпрабаваннямі, праведзенымі сумесна з Нацыянальнай фізічнай лабараторыяй (Вялікабрытанія), унутраны каэфіцыент дэмпфавання нашага матэрыялу паглынае ў 10-15 разоў больш энергіі вібрацый, чым сталь. Гэта адрозненне ў прадукцыйнасці непасрэдна азначае больш высокі выхад і меншы ўзровень дэфектаў у вытворчасці паўправаднікоў — крытычную перавагу ў галіне, дзе адна секунда прастою можа каштаваць тысячы долараў.
Інжынерная дасканаласць: ад кар'ера да квантавага скачка
Наша прыхільнасць да дакладнасці пачынаецца з крыніцы. Мы маем эксклюзіўны доступ да радовішчаў высакаякаснага граніту, адабраных дзякуючы іх аднастайнай крышталічнай структуры і мінімальным мінеральным зменам. Кожны блок праходзіць шэсць месяцаў натуральнай вытрымкі, перш чым патрапіць на наш вытворчы комплекс плошчай 200 000 м² каля Цзінаня, стратэгічна размешчанага з прамым доступам да порта Ціндао для глабальнай дыстрыбуцыі. Нашы вытворчыя магчымасці не маюць сабе роўных: з чатырма тайваньскімі шліфавальнымі станкамі Nan Teh (інвестыцыі ў кожны з якіх перавышаюць 500 000 долараў ЗША), мы можам апрацоўваць асобныя кампаненты вагой да 100 тон з памерамі, якія дасягаюць 20 м у даўжыню — магчымасці, якія нядаўна дазволілі нам пастаўляць спецыяльныя сцэны для сістэмы наступнага пакалення вядучага вытворцы абсталявання EUV.
Сэрца нашай вытворчасці знаходзіцца ў нашым памяшканні плошчай 10 000 м² з пастаяннай тэмпературай і вільготнасцю, дзе ўсе зменныя навакольнага асяроддзя старанна кантралююцца. Звышцвёрдая бетонная падлога таўшчынёй 1000 мм у спалучэнні з вібраізаляцыйнымі траншэямі шырынёй 500 мм вакол вытворчай зоны стварае стабільнае асяроддзе, дзе ваганні тэмпературы падтрымліваюцца ў межах ±0,5°C. Гэты ўзровень кантролю навакольнага асяроддзя вельмі важны пры вырабе гранітных паверхневых пліт з допускамі плоскасці менш за 0,5 мкм на даўжыні 6000 мм — спецыфікацыі правераны з дапамогай нашых лазерных інтэрферометраў Renishaw і дакладных калібраў Mahr, усіх адкалібраваных у адпаведнасці са стандартамі нацыянальнага метралагічнага інстытута.
Устанаўленне галіновых стандартаў: сертыфікацыя і абавязацельствы па якасці
Як адзіны вытворца дакладнага граніту, які мае адначасова сертыфікаты ISO 9001, ISO 14001, ISO 45001 і CE, мы ўстанавілі эталоны якасці, якія вызначаюць галіну. Наша палітыка якасці — «Дакладны бізнес не можа быць занадта патрабавальным» — кіруе кожным аспектам нашай дзейнасці, ад праверкі сыравіны да канчатковай сертыфікацыі. Мы асабліва ганарымся нашай сістэмай метралагічных выпрабаванняў, якая ўключае нямецкія мікраметры Mahr (з дазволам 0,5 мкм), профілометры Mitutoyo і швейцарскія электронныя ўзроўні WYLER, усе з якіх прасочваюцца да Нацыянальнага інстытута метралогіі Кітая і рэгулярна правяраюцца ў рамках міжнародных праграм параўнання з Physikalisch-Technische Bundesanstalt (Германія) і Нацыянальным інстытутам стандартаў і тэхналогій (ЗША).
Дзякуючы гэтаму бескампраміснаму падыходу мы заключылі партнёрскія адносіны з лідарамі галіны, у тым ліку з пастаўшчыкамі GE, Samsung і ASML. Калі буйному вытворцу паўправадніковага абсталявання спатрэбіліся спецыяльныя гранітныя падшыпнікі для сваіх сістэм кантролю пласцін памерам 300 мм, наша здольнасць вырабляць 20 000 зборак дакладных станін штомесяц гарантавала, што яны выканаюць тэрміны выхаду на вытворчасць. Аналагічна, наша супрацоўніцтва з сінгапурскім Наньянскім тэхналагічным універсітэтам па стварэнні гранітных кампазітаў, узмоцненых вугляродным валакном, пашырае межы лёгкіх дакладных канструкцый для метралагічных сістэм наступнага пакалення.
Па-за межамі вытворчасці: развіццё навукі вымярэнняў
У ZHHIMG мы прытрымліваемся філасофіі «калі вы не можаце гэта вымераць, вы не можаце гэта зрабіць». Гэта перакананне рухае нашымі пастаяннымі даследчымі партнёрствамі з такімі ўстановамі, як Лабараторыя дакладнага машынабудавання Стакгольмскага ўніверсітэта і Чанчуньскі інстытут оптыкі ў Кітаі. Разам мы распрацоўваем новыя метады вымярэнняў, якія выходзяць за рамкі традыцыйнага тактыльнага зондавання і ўключаюць аптычную інтэрфераметрыю і камп'ютэрную тамаграфію для аналізу ўнутраных напружанняў буйных гранітных кампанентаў. Наш нядаўні прарыў у выкарыстанні ультрагукавога кантролю для картаграфавання ўнутраных крышталічных структур знізіў узровень браку матэрыялу на 37%, адначасова палепшыўшы прагнозы доўгатэрміновай стабільнасці.
Наша імкненне да развіцця вымяральнай навукі адлюстроўваецца ў нашай сучаснай метралагічнай лабараторыі, якая мае асяроддзе чыстага памяшкання класа 100, спецыяльна распрацаванае для зборкі кампанентаў паўправадніковага абсталявання. Тут мы мадэлюем вытворчыя ўмовы нашых кліентаў, каб гарантаваць, што нашы гранітныя падставы захоўваюць нанаметровую дакладнасць у рэальных умовах эксплуатацыі. Гэты ўзровень прыхільнасці зрабіў нас надзейным партнёрам для арганізацый, пачынаючы ад Лабараторыі рэактыўнага руху НАСА і заканчваючы перадавымі стартапамі ў галіне квантавых вылічэнняў, якія распрацоўваюць сістэмы кубітаў з карэкцыяй памылак.
Будуем будучыню: устойлівае развіццё і інавацыі
Па меры развіцця дакладнай вытворчасці змяняецца і наш падыход да ўстойлівай вытворчасці. Сертыфікацыя ISO 14001 адлюстроўвае нашу прыхільнасць да адказнага кіравання рэсурсамі, у тым ліку сістэмы рэцыркуляцыі вады, якія ўлоўліваюць і ачышчаюць 95% нашай шліфавальнай астуджальнай вадкасці, і сонечную электрастанцыю, якая кампенсуе 28% нашых патрэб у электраэнергіі. Мы таксама распрацавалі запатэнтаваныя тэхналогіі алмазнай рэзкі, якія скарачаюць адходы матэрыялу на 40% у параўнанні з традыцыйнымі метадамі апрацоўкі — значны прагрэс у галіне, дзе выдаткі на сыравіну складаюць да 35% вытворчых выдаткаў.
Заглядаючы ў будучыню, наша каманда даследаванняў і распрацовак сканцэнтравана на трох трансфармацыйных напрамках: інтэграцыя сэнсарных сетак непасрэдна ў гранітныя канструкцыі для маніторынгу стану ў рэжыме рэальнага часу, распрацоўка кампазітных матэрыялаў з градыентнай шчыльнасцю, якія аптымізуюць суадносіны калянасці і вагі, і наватарскія сістэмы прагнастычнага абслугоўвання на аснове штучнага інтэлекту для нашага вытворчага абсталявання. Гэтыя інавацыі грунтуюцца на нашай спадчыне больш за 20 міжнародных патэнтаў і дазваляюць нам падтрымліваць наступнае пакаленне вытворчасці паўправаднікоў, уключаючы 2-нм і больш сучасныя працэсы.
У галіне, дзе дакладнасць вызначае магчымасці, ZHHIMG працягвае ўстанаўліваць стандарт для звышдакладных гранітных кампанентаў. Спалучэнне нашага вопыту ў галіне матэрыялазнаўства, маштабаў вытворчасці (20 000 адзінак у месяц) і бескампраміснага кантролю якасці зрабіла нас партнёрам выбару для кампаній, якія пашыраюць межы перадавой вытворчасці. Паколькі вытворцы паўправаднікоў сутыкаюцца з праблемамі меншых вузлоў, большай шчыльнасці і больш складаных трохмерных архітэктур, яны могуць разлічваць на дакладныя гранітныя рашэнні ZHHIMG, каб забяспечыць стабільную аснову, на якой будзе пабудавана будучыня тэхналогій.
For technical specifications, certification documentation, or to discuss custom solutions for your precision manufacturing challenges, contact our engineering team at info@zhhimg.com or visit our technology center in Jinan, where we maintain a fully equipped demonstration lab showcasing our latest innovations in ultra-precision measurement and manufacturing.
Час публікацыі: 31 кастрычніка 2025 г.