Вытворчасць паўправаднікоў: У працэсе вытворчасці мікрасхем працэс фоталітаграфіі патрабуе дакладнага пераносу схемы на пласціну. Гранітная аснова аднавосевага паветрана-плаваючага звышдакладнага модуля руху можа забяспечыць высокую дакладнасць пазіцыянавання і стабільную падтрымку стала для пласцін у літаграфічным абсталяванні. Напрыклад, ASML і іншыя сусветна вядомыя вытворцы літаграфічных машын выкарыстоўваюць паветрана-плаваючыя модулі руху на гранітнай аснове ў сваім высакаякасным абсталяванні, што дазваляе кантраляваць дакладнасць пазіцыянавання пласціны на нанаметровым узроўні, каб забяспечыць дакладнасць літаграфічнага малюнка, тым самым паляпшаючы інтэграцыю і прадукцыйнасць мікрасхемы.
Галіна дакладных вымярэнняў: КІМ — гэта дакладныя вымяральныя прыборы, якія шырока выкарыстоўваюцца ў прамысловай вытворчасці і выкарыстоўваюцца для вымярэння памераў, формы і дакладнасці становішча дэталі. Ультрадакладны модуль руху аднавосевага пнеўматычнага паплаўка на гранітнай аснове можа выкарыстоўвацца ў якасці рухомай платформы КІМ, якая можа рэалізоўваць высокадакладны лінейны рух і забяспечваць стабільную траекторыю руху вымяральнага зонда. Напрыклад, высакаякасная КІМ Hexagon выкарыстоўвае гэтую камбінацыю для вымярэння вялікіх і складаных дэталяў з дакладнасцю вымярэння да мікроннага ўзроўню, што забяспечвае надзейную гарантыю кантролю якасці дэталяў у аўтамабільнай, аэракасмічнай і іншых галінах прамысловасці.
Аэракасмічная галіна: пры апрацоўцы і выпрабаванні дэталяў авіяцыйнай тэхнікі патрабуецца высокая дакладнасць. Напрыклад, апрацоўка лапатак авіяцыйных рухавікоў патрабуе дакладнага кантролю траекторыі руху інструмента для забеспячэння дакладнасці профілю лапаткі. Гранітная аснова аднавосевага модуля звышдакладнага руху з пнеўматычным плаваннем можа быць ужытая да пяцівосевага апрацоўчага цэнтра і іншага абсталявання для забеспячэння высокадакладнага кіравання рухам інструмента і гарантыі таго, што дакладнасць апрацоўкі лапаткі адпавядае патрабаванням канструкцыі. У той жа час, у працэсе зборкі авіяцыйнага рухавіка таксама неабходна выкарыстоўваць высокадакладнае вымяральнае абсталяванне для вызначэння дакладнасці зборкі дэталяў. Модуль з пнеўматычным плаваннем гранітнай асновы можа забяспечыць стабільную падтрымку і дакладны рух вымяральнага абсталявання для забеспячэння якасці зборкі.
Сфера аптычнага кантролю: У працэсе вытворчасці і выпрабаванняў аптычных кампанентаў неабходна выконваць высокадакладнае пазіцыянаванне і вымярэнне аптычных кампанентаў. Напрыклад, пры вытворчасці высокадакладных аптычных кампанентаў, такіх як люстэркі і лінзы, неабходна выкарыстоўваць інтэрферометры і іншае абсталяванне для вызначэння дакладнасці формы паверхні. Гранітная аснова аднавосевага паветрана-плаваючага звышдакладнага модуля руху можа выкарыстоўвацца ў якасці рухомай платформы інтэрферометра, што дазваляе рэалізаваць субмікронную дакладнасць пазіцыянавання і забяспечваць дакладную падтрымку дадзеных для выяўлення аптычных кампанентаў. Акрамя таго, у абсталяванні для лазернай апрацоўкі таксама неабходна выкарыстоўваць высокадакладную рухомую платформу для кіравання траекторыяй сканавання лазернага прамяня, гранітная аснова паветрана-плаваючага модуля руху можа задаволіць гэтае патрабаванне для дасягнення высокадакладнай лазернай апрацоўкі.
Час публікацыі: 07 красавіка 2025 г.