У дакладным ланцугу вытворчасці паўправаднікоў сістэма перадачы пласцін з'яўляецца як "жыватворчы круг вытворчай лініі мікрасхем", а яе стабільнасць і дакладнасць непасрэдна вызначаюць хуткасць выхаду мікрасхем. Новае пакаленне сістэм перадачы пласцін рэвалюцыйна спалучае лінейныя рухавікі з гранітнымі асновамі, і ўнікальныя перавагі гранітных матэрыялаў з'яўляюцца менавіта асноўным кодам для разблакіроўкі высокапрадукцыйнай перадачы.
Гранітная аснова: стварэнне «трывалага падмурка» для стабільнай перадачы
Граніт, які зведаў сотні мільёнаў гадоў геалагічнай перапрацоўкі, характарызуецца шчыльнай і аднастайнай унутранай крышталізацыяй мінералаў. Гэтая прыродная характарыстыка робіць яго ідэальным базавым матэрыялам для сістэм перадачы пласцін. У складаных умовах чыстых паўправадніковых памяшканняў граніт, дзякуючы свайму звышнізкаму каэфіцыенту цеплавога пашырэння (толькі 5-7 ×10⁻⁶/℃), можа супрацьстаяць цяплу, якое выпрацоўваецца падчас працы абсталявання, і ўплыву змен тэмпературы навакольнага асяроддзя, забяспечваючы стабільнасць памеру асновы і пазбягаючы адхіленняў шляху перадачы, выкліканых цеплавой дэфармацыяй. Яго выдатныя характарыстыкі гашэння вібрацый дазваляюць хутка паглынаць механічныя вібрацыі, якія ўзнікаюць падчас запуску, спынення і разгону лінейных рухавікоў, а таксама знешнія перашкоды, выкліканыя працай іншага абсталявання ў майстэрні, забяспечваючы стабільную платформу з "нулявым вібрацыяй" для перадачы пласцін.
Тым часам хімічная стабільнасць граніту гарантуе, што ён не будзе падвяргацца карозіі і іржы ў паўправадніковых майстэрнях, дзе кіслотныя і шчолачныя рэагенты з'яўляюцца лятучымі і патрабуецца высокая чысціня, што дазваляе пазбегнуць уплыву на дакладнасць перадачы з-за старэння матэрыялу або адсорбцыі забруджвальных рэчываў. Гладкія і шчыльныя характарыстыкі паверхні дазваляюць больш эфектыўна зніжаць наліпанне пылу, адпавядаючы строгім стандартам чыстых памяшканняў без пылу і ліквідуючы рызыку забруджвання пласціны ад кораня.
Эфект «залатога партнёрства» лінейных рухавікоў і граніту
Лінейныя рухавікі, якія характарызуюцца адсутнасцю механічнага зазору ў перадачы, высокім паскарэннем і высокай хуткасцю водгуку, забяспечваюць перадачу пласцін перавагамі "хуткасці, дакладнасці і стабільнасці". Гранітная аснова забяспечвае трывалую і надзейную апорную платформу. Гэтыя два кампаненты працуюць разам, каб дасягнуць значнага павелічэння прадукцыйнасці. Калі лінейны рухавік прыводзіць у рух носьбіт пласцін па рэйцы гранітнай асновы, высокая калянасць і стабільнасць асновы забяспечваюць эфектыўную перадачу рухаючай сілы рухавіка, пазбягаючы страты сілы або затрымкі перадачы, выкліканай дэфармацыяй асновы.
З-за попыту на нанамаштабную дакладнасць, лінейныя рухавікі могуць дасягнуць кантролю перамяшчэння на субмікронным узроўні. Высокадакладныя характарыстыкі апрацоўкі гранітных асноў (з памылкамі плоскасці, якія кантралююцца ў межах ±1 мкм) ідэальна адпавядаюць дакладнаму кіраванню лінейнымі рухавікамі, сумесна гарантуючы, што памылка пазіцыянавання падчас перадачы пласціны складае менш за ±5 мкм. Незалежна ад таго, ці гэта хуткасная перадача паміж розным тэхналагічным абсталяваннем, ці дакладная паркоўка для перадачы пласціны, спалучэнне лінейных рухавікоў і гранітных асноў можа забяспечыць «нулявое адхіленне і нулявое ваганне» пры перадачы пласціны.
Праверка галіновай практыкі: падвойнае паляпшэнне эфектыўнасці і ўзроўню прыбытковасці
Пасля мадэрнізацыі сістэмы перадачы пласцін вядучае сусветнае паўправадніковае прадпрыемства ўкараніла рашэнне з лінейным рухавіком і гранітнай асновай, што павялічыла эфектыўнасць перадачы пласцін на 40%, знізіла частату ўзнікнення такіх памылак, як сутыкненні і зрушэнне падчас працэсу перадачы, на 85% і палепшыла агульны выхад чыпаў на 6%. За гэтымі дадзенымі стаіць гарантыя стабільнасці перадачы, якую забяспечвае гранітная аснова, і высакахуткасны і дакладны сінергетычны эфект лінейнага рухавіка, які значна зніжае страты і памылкі ў працэсе перадачы пласцін.
Ад уласцівасцей матэрыялаў да дакладнай вытворчасці, ад пераваг у прадукцыйнасці да практычнай праверкі, спалучэнне лінейных рухавікоў і гранітных асноў перагледзела стандарты сістэм пераносу пласцін. У будучыні, калі паўправадніковыя тэхналогіі будуць развівацца ў бок 3-нм і 2-нм працэсаў, гранітныя матэрыялы, несумненна, будуць працягваць уносіць моцны імпульс у развіццё галіны дзякуючы сваім незаменным перавагам.
Час публікацыі: 14 мая 2025 г.