Сусветны попыт на большыя і якасныя плоскія дысплеі стымулюе пастаянныя інавацыі ў вытворчых тэхналогіях. Цэнтральным элементам гэтай галіны з'яўляецца масавая вытворчасць дысплеяў з выкарыстаннем тэхналогіі аморфнага крэмнію (a-Si). Нягледзячы на развіты ўзровень, вытворчасць a-Si застаецца рызыкоўнай справай, дзе першараднае значэнне мае прыбытковасць, што прад'яўляе надзвычайныя патрабаванні да абсталявання для праверкі цэласнасці масіваў. Для абсталявання, якое адказвае за забеспячэнне ідэальнай функцыянальнасці кожнага пікселя на шкляных падкладках вялікай плошчы, аснова — гэта ўсё. Менавіта тут важныя надзейнасць і бескампрамісная стабільнасць...гранітная падстава машыныдля праверкі аморфнага крэмніевага масіва плоскіх дысплеяў уступае ў гульню.
Сучаснае абсталяванне для праверкі аморфнага крэмнію на плоскіх дысплеях абапіраецца на складаныя аптычныя і электронныя сістэмы для сканавання вялікіх плошчаў і выяўлення мікраскапічных дэфектаў. Неабходная дакладнасць пазіцыянавання для гэтых інструментаў праверкі часта знаходзіцца ў субмікронным дыяпазоне. Каб дасягнуць гэтага, увесь апарат для праверкі павінен быць пабудаваны на платформе, цалкам устойлівай да распаўсюджаных ворагаў дакладнасці: цеплавога пашырэння і вібрацыі.
Пераадоленне цеплавога дрэйфу для стабільнага сканавання
У вытворчым асяроддзі нават у старанна кантраляваным чыстым памяшканні назіраюцца нязначныя ваганні тэмпературы. Традыцыйныя металічныя матэрыялы значна рэагуюць на гэтыя змены, пашыраючыся або сціскаючыся ў працэсе, вядомым як цеплавы дрэйф. Гэты дрэйф можа прывесці да нязначнага зрушэння адноснага становішча датчыка кантролю і панэлі дысплея падчас цыклу сканавання, што прывядзе да геаметрычных памылак, недакладных паказанняў і, у рэшце рэшт, няправільна класіфікаваных дэфектаў. Ілжывыя паказанні могуць прывесці да дарагой пераробкі або браку цалкам спраўнай панэлі.
Рашэнне заключаецца ў прыродных уласцівасцях матэрыялу натуральнага граніту. Выкарыстанне высокадакладнага граніту для кантролю аморфнага крэмніевага масіва плоскіх дысплеяў забяспечвае аснову з надзвычай нізкім каэфіцыентам цеплавога пашырэння (КТР) — значна лепшым, чым у сталі або алюмінія. Гэтая цеплавая інерцыя гарантуе, што крытычная геаметрыя інспекцыйнай машыны застаецца размерна стабільнай з цягам часу і пры невялікіх ваганнях тэмпературы. Мінімізуючы цеплавы дрэйф, граніт гарантуе, што працэс кантролю будзе паслядоўным, паўтаральным і вельмі надзейным, што непасрэдна прывядзе да павышэння вытворчых вытворчых вынікаў.
Ціхі стабілізатар: гашэнне мікравібрацый
Акрамя цеплавых уздзеянняў, дынамічная стабільнасць інспекцыйнага абсталявання не падлягае абмеркаванню. Адчувальныя механізмы сканавання, якія выкарыстоўваюць высакахуткасныя лінейныя рухавікі і паветраныя падшыпнікі для перамяшчэння вялікіх шкляных падкладак, генеруюць унутраны механічны шум. Акрамя таго, знешнія вібрацыі ад сістэм ацяплення, вентыляцыі і кандыцыянавання паветра на аб'екце, блізка размешчанай цяжкай тэхнікі і нават пешаходнага руху могуць перадавацца праз падлогу і перашкаджаць працэсу інспекцыі.
Граніт валодае выключна высокай унутранай дэмпфіруючай здольнасцю. Менавіта дзякуючы гэтай здольнасці хутка паглынаць і рассейваць механічную энергію гранітная аснова для кантролю аморфнага крэмніевага масіва плоскіх дысплеяў выступае ў якасці найлепшага ізалятара вібрацый. Замест таго, каб рэзаніраваць або перадаваць вібрацыі, як метал, шчыльная крышталічная структура граніту хутка пераўтварае гэтую кінетычную энергію ў нязначнае цяпло, эфектыўна ствараючы звышціхую і стабільную платформу. Гэта вельмі важна для сістэм бачання з высокім разрозненнем, якім патрабуецца імгненная нерухомасць для атрымання выразных і дакладных малюнкаў складаных элементаў масіва.
Інжынерная дасканаласць пачынаецца з прыроднага падмурку
Граніт, абраны для гэтых асноў, — гэта не проста неапрацаваны камень; гэта высакаякасны матэрыял, звычайна чорны граніт, старанна апрацаваны і дапрацаваны ў адпаведнасці з астранамічнымі стандартамі роўнасці і прамалінейнасці. Пасля рэзкі, шліфоўкі і прыціркі гэтыя асновы дасягаюць дапушчальных адхіленняў паверхні, якія вымяраюцца ў мільённых долях цалі, утвараючы сапраўдную метралагічна гатовую плоскасць.
Гэта імкненне да стабільнасці і дакладнасці, якое забяспечваецца выкарыстаннем высокадакладнага граніту, дазваляе вытворцам абсталявання для інспекцыі аморфнага крэмнію для плоскіх дысплеяў пашыраць межы раздзяляльнай здольнасці і прапускной здольнасці. Выкарыстоўваючы гэты натуральна стабільны і трывалы матэрыял, інжынеры гарантуюць, што прадукцыйнасць машыны абмяжоўваецца толькі якасцю яе рухомых кампанентаў і оптыкі, а не нестабільнасцю яе фундаментальнай канструкцыі. У канкурэнтным асяроддзі вытворчасці дысплеяў выбар гранітнай асновы з'яўляецца стратэгічным рашэннем, якое гарантуе доўгатэрміновую дакладнасць і бездакорную працу.
Час публікацыі: 03 снежня 2025 г.