Гранітная падсцілка з'яўляецца важным кампанентам у розных паўправадніковых прыладах. Як вельмі стабільны і цвёрды матэрыял, граніт шырока выкарыстоўваецца ў якасці асновы для абсталявання для апрацоўкі паўправаднікоў. Ён характарызуецца нізкім каэфіцыентам цеплавога пашырэння, высокай стабільнасцю памераў і выдатнымі механічнымі ўласцівасцямі. Дзякуючы гэтым уласцівасцям гранітная падсцілка часцей за ўсё выкарыстоўваецца ў трох розных тыпах паўправадніковых прылад - метралагічным абсталяванні, літаграфічным абсталяванні і інспекцыйным абсталяванні.
Метралагічнае абсталяванне выкарыстоўваецца для вымярэння і выяўлення крытычных памераў паўправадніковых прылад. Яно адыгрывае вырашальную ролю ў падтрыманні якасці і стабільнасці працэсу вытворчасці паўправаднікоў. Метралагічнае абсталяванне ўключае такія прыборы, як аптычныя мікраскопы, электронныя мікраскопы і атамна-сілавыя мікраскопы (АСМ). Паколькі прадукцыйнасць гэтых вымяральных прыбораў залежыць ад іх стабільнасці, дакладнасці і вібраўстойлівасці, граніт з'яўляецца ідэальным выбарам матэрыялу для іх падсцілкі. Аднастайнасць і стабільнасць гранітнай падсцілкі забяспечваюць стабільную платформу для прыбораў, што павышае іх дакладнасць і надзейнасць.
Літаграфічнае абсталяванне выкарыстоўваецца для стварэння малюнкаў мікрачыпаў на пласціне. Працэс літаграфіі патрабуе высокага ўзроўню дакладнасці і акуратнасці для стварэння складаных схем і паляпшэння прадукцыйнасці чыпа. Літаграфічнае абсталяванне ўключае ў сябе сістэмы крокавых рухавікоў і сканераў, якія выкарыстоўваюць святло для пераносу малюнкаў на пласціну. Паколькі працэс літаграфіі вельмі адчувальны да вібрацыі і тэмпературных змен, высакаякасны ложак мае важнае значэнне для забеспячэння стабільнасці і паўтаральнасці працэсу літаграфіі. Гранітныя ложкі забяспечваюць неабходную стабільнасць і строгія характарыстыкі гашэння вібрацый для літаграфічных сістэм. Гранітны ложак дазваляе сістэме крокавых рухавікоў або сканераў падтрымліваць дакладныя прасторавыя суадносіны, што забяспечвае высокую дакладнасць і якасць канчатковага прадукту.
Для выяўлення дэфектаў у паўправадніковых прыладах выкарыстоўваецца інспекцыйнае абсталяванне. Да інспекцыйнага абсталявання адносяцца такія сістэмы, як лазерныя сканіруючыя мікраскопы, электронныя мікраскопы і аптычныя мікраскопы. Улічваючы неабходнасць высокай дакладнасці, стабільнасці і вібраўстойлівасці гэтых прылад, гранітныя ложкі з'яўляюцца ідэальным матэрыялам. Механічныя ўласцівасці і памерная стабільнасць граніту дапамагаюць у вібраізаляцыі, што павышае дакладнасць вынікаў інспекцыйнага абсталявання.
У заключэнне, гранітная падсцілка мае вырашальнае значэнне для паўправадніковай прамысловасці і шырока выкарыстоўваецца ў розных тыпах абсталявання. Яго ўнікальныя ўласцівасці, такія як стабільнасць памераў, нізкі каэфіцыент цеплавога пашырэння і выдатная механічная стабільнасць, робяць граніт ідэальным выбарам у якасці матэрыялу для падсцілкі паўправадніковага абсталявання. Паколькі высакаякасная гранітная падсцілка забяспечвае неабходную стабільнасць, дакладнасць і вібраўстойлівасць паўправадніковага абсталявання, яна ў канчатковым выніку паляпшае якасць канчатковага прадукту. Такім чынам, выкарыстанне гранітнай падсцілкі ў паўправадніковым абсталяванні, несумненна, будзе працягвацца яшчэ доўгія гады.
Час публікацыі: 03 красавіка 2024 г.