Гранітны ложак з'яўляецца важным кампанентам у розных паўправадніковых прыладах. У якасці высока ўстойлівага і цвёрдага матэрыялу граніт шырока выкарыстоўваецца ў якасці асновы для паўправадніковага абсталявання. Ён характарызуецца яго нізкім каэфіцыентам цеплавога пашырэння, высокай памерам устойлівасці і выдатнымі механічнымі ўласцівасцямі. З -за гэтых уласцівасцей гранітны ложак часцей за ўсё выкарыстоўваецца ў трох розных тыпах паўправадніковых прылад - метралагічнага абсталявання, літаграфічнага абсталявання і інспекцыйнага абсталявання.
Метралагічнае абсталяванне выкарыстоўваецца для вымярэння і выяўлення крытычных вымярэнняў паўправадніковых прылад. Ён гуляе вырашальную ролю ў падтрыманні якасці і паслядоўнасці працэсу вытворчасці паўправаднікоў. Метралагічнае абсталяванне ўключае ў сябе такія прыборы, як аптычныя мікраскопы, электронныя мікраскопы і атамныя сілавыя мікраскопы (АФМ). Паколькі прадукцыйнасць гэтых вымяральных інструментаў залежыць ад іх стабільнасці, дакладнасці і вібрацыі, граніт з'яўляецца ідэальным выбарам для іх матэрыялу. Раўнамернасць і стабільнасць гранітнага ложка забяспечваюць стабільную платформу для інструментаў, што павышае іх дакладнасць і надзейнасць.
Абсталяванне для літаграфіі выкарыстоўваецца для стварэння мадэляў мікрачыпа на пласціне. Працэс літаграфіі патрабуе высокага ўзроўню дакладнасці і дакладнасці для стварэння складаных схем і павышэння прадукцыйнасці чыпаў. Абсталяванне для літаграфіі ўключае ў сябе сістэмы Stepper і Scanner, якія выкарыстоўваюць святло для перадачы малюнкаў на пласціну. Паколькі працэс літаграфіі вельмі адчувальны да вібрацыі і цеплавых змяненняў, якасны ложак мае важнае значэнне для забеспячэння стабільнасці і паўтаральнасці працэсу літаграфіі. Гранітныя ложкі забяспечваюць неабходную стабільнасць і жорсткую прадукцыйнасць амартызацыі вібрацыі для сістэм літаграфіі. Гранітны ложак дазваляе сістэме крока або сканера падтрымліваць дакладныя прасторавыя адносіны, забяспечваючы высокую дакладнасць і канчатковую якасць прадукцыі.
Інспекцыйнае абсталяванне выкарыстоўваецца для выяўлення любых дэфектаў на паўправадніковых прыладах. Інспекцыйнае абсталяванне ўключае такія сістэмы, як лазернае сканіраванае мікраскопы, электронныя мікраскопы і аптычныя мікраскопы. З неабходнасцю, каб гэтыя прылады былі вельмі дакладнымі, стабільнымі і вібрацыйнымі, гранітнымі ложкамі-ідэальны матэрыял. Механічныя ўласцівасці граніту і вымяральная стабільнасць дапамагаюць у вібрацыйнай ізаляцыі, што павышае дакладнасць выхаду інспекцыйнага абсталявання.
У заключэнне гранітны ложак мае вырашальнае значэнне для паўправадніковай галіны і шырока выкарыстоўваецца ў розных відах абсталявання. Яго унікальныя ўласцівасці, такія як стабільнасць памераў, каэфіцыент нізкага цеплавога пашырэння і выдатная механічная стабільнасць, робяць граніт ідэальным выбарам для матэрыялу пласта паўправадніковага абсталявання. Паколькі якасны гранітны ложак забяспечвае неабходную ўстойлівасць, дакладнасць і вібрацыйную ўстойлівасць да паўправадніковага абсталявання, яна ў канчатковым выніку паляпшае якасць канчатковага прадукту. Такім чынам, выкарыстанне гранітнага ложка ў паўправадніковым абсталяванні абавязкова працягнецца на доўгія гады.
Час паведамлення: красавік-03-2024