У такіх галінах, як вытворчасць паўправаднікоў і дакладных вымяральных прыбораў, дакладнасць гранітных дакладных платформаў непасрэдна вызначае якасць працы абсталявання. Каб забяспечыць адпаведнасць дакладнасці платформы стандартам, неабходна прыкладаць намаганні з двух бакоў: выяўленне ключавых паказчыкаў і адпаведнасць стандартным нормам.
Выяўленне асноўных індыкатараў: шматмерны кантроль дакладнасці
Вызначэнне плоскасці: вызначэнне «плоскасці» плоскасці адліку
Плоскасць з'яўляецца асноўным паказчыкам дакладных гранітных платформаў, і звычайна яна вымяраецца лазернымі інтэрферометрамі або электроннымі ўзроўнямі. Лазерны інтэрферометр можа дакладна вымяраць драбнюткія няроўнасці на паверхні платформы, выпраменьваючы лазерны прамень і выкарыстоўваючы прынцып інтэрферэнцыі святла, з дакладнасцю, якая дасягае субмікроннага ўзроўню. Электронны ўзровень вымярае, рухаючыся некалькі разоў, і малюе трохмерную контурную карту паверхні платформы, каб выявіць наяўнасць лакальных выступаў або паглыбленняў. Напрыклад, гранітныя платформы, якія выкарыстоўваюцца ў паўправадніковых фоталітаграфічных машынах, павінны мець плоскасць ±0,5 мкм/м, гэта значыць, што розніца вышынь на даўжыні 1 метр не павінна перавышаць палову мікраметра. Толькі з дапамогай высокадакладнага абсталявання для выяўлення можна забяспечыць гэты строгі стандарт.
2. Выяўленне прамалінейнасці: Забяспечце «прамалінейнасць» лінейнага руху
Для платформаў, якія маюць дакладныя рухомыя дэталі, прамалінейнасць мае жыццёва важнае значэнне. Распаўсюджанымі метадамі выяўлення з'яўляюцца дротавы метад або лазерны каліматар. Дротавы метад прадугледжвае падвешванне высокадакладных сталёвых дротаў і параўнанне зазору паміж паверхняй платформы і сталёвымі дротамі для вызначэння прамалінейнасці. Лазерны каліматар выкарыстоўвае лінейныя характарыстыкі распаўсюджвання лазера для выяўлення лінейнай памылкі паверхні ўстаноўкі накіроўвалай рэйкі платформы. Калі прамалінейнасць не адпавядае стандарту, гэта прывядзе да зрушэння абсталявання падчас руху, што паўплывае на дакладнасць апрацоўкі або вымярэнняў.
3. Выяўленне шурпатасці паверхні: Забяспечце "тонкасць" кантакту
Шурпатасць паверхні платформы ўплывае на прыляганне кампанентаў да ўстаноўкі. Звычайна для выяўлення выкарыстоўваецца стылус-вымяральнік шурпатасці або аптычны мікраскоп. Прыбор тыпу стылуса фіксуе змены вышыні мікраскапічнага профілю, кантактуючы з паверхняй платформы тонкім зондам. Аптычныя мікраскопы могуць непасрэдна назіраць тэкстуру паверхні. У высокадакладных прымяненнях шурпатасць паверхні гранітных платформаў неабходна кантраляваць на ўзроўні Ra ≤ 0,05 мкм, што эквівалентна люстранаму эфекту, забяспечваючы шчыльнае прыляганне дакладных кампанентаў падчас ўстаноўкі і пазбягаючы вібрацыі або зрушэння, выкліканага зазорамі.
Стандарты дакладнасці адпавядаюць: міжнародным нормам і ўнутранаму кантролю прадпрыемства
У цяперашні час на міжнародным узроўні ў якасці асновы для вызначэння дакладнасці гранітных платформаў звычайна выкарыстоўваюцца стандарты ISO 25178 і GB/T 24632, і існуюць выразныя класіфікацыі такіх паказчыкаў, як плоскасць і прамалінейнасць. Акрамя таго, высакаякасныя вытворчыя прадпрыемствы часта ўстанаўліваюць больш строгія стандарты ўнутранага кантролю. Напрыклад, патрабаванні да плоскасці гранітнай платформы фоталітаграфічнай машыны на 30% вышэйшыя за міжнародны стандарт. Пры правядзенні выпрабаванняў вымераныя дадзеныя варта параўноўваць з адпаведнымі стандартамі. Толькі платформы, якія цалкам адпавядаюць стандартам, могуць забяспечыць стабільную працу дакладнага абсталявання.
Праверка дакладнасці гранітных платформаў — гэта сістэматычны праект. Толькі шляхам строгага кантролю асноўных паказчыкаў, такіх як роўнасць, прамалінейнасць і шурпатасць паверхні, а таксама выканання міжнародных і карпаратыўных стандартаў, можна гарантаваць высокую дакладнасць і надзейнасць платформы, што закладвае трывалую аснову для высакаякасных вытворчых галін, такіх як паўправаднікі і дакладныя прыборы.
Час публікацыі: 21 мая 2025 г.