У галіне вытворчасці паўправаднікоў субмікронная дакладнасць з'яўляецца ключом да забеспячэння прадукцыйнасці чыпа, і гранітная аснова (ZHHIMG®) з яе ўласцівасцямі матэрыялу, дакладнай апрацоўкай і інавацыйным дызайнам стала асноўнай гарантыяй дасягнення гэтай дакладнасці.
З пункту гледжання ўласцівасцей матэрыялу, чорны граніт, абраны ZHHIMG®, мае шчыльнасць прыблізна 3100 кг/м³ і шчыльную ўнутраную структуру. Гэтая высокая шчыльнасць надае яму выдатную стабільнасць і калянасць. Падчас працы паўправадніковага абсталявання кручэнне рухавікоў і рух механічных кампанентаў унутры абсталявання ствараюць вібрацыі. Гранітная аснова можа эфектыўна паглынаць больш за 90% энергіі вібрацыі, значна зніжаючы ўплыў вібрацыі на дакладнасць абсталявання. У той жа час, надзвычай нізкі каэфіцыент цеплавога пашырэння дазваляе яму падтрымліваць дэфармацыю ў вельмі малых межах пры ваганнях тэмпературы навакольнага асяроддзя, забяспечваючы стабільную апору для паўправадніковага абсталявання і прадухіляючы зрушэнне кампанентаў абсталявання з-за змен тэмпературы, якія могуць паўплываць на дакладнасць.
Што тычыцца апрацоўкі і вытворчасці, фабрыка ZHHIMG® выкарыстоўвае міжнароднае перадавое абсталяванне для апрацоўкі і мае чатыры звышвялікія шліфавальныя станкі (кошт кожнага станка перавышае 500 000 долараў ЗША), якія могуць выконваць высокадакладнае шліфаванне граніту. Дзякуючы пяцівосевай апрацоўцы на станках з ЧПУ і іншым працэсам, роўнасць асновы станка можа дасягаць нанаметровага ўзроўню, што забяспечвае ультрароўную апорную паверхню для ўстаноўкі паўправадніковага абсталявання і гарантуе дакладнае пазіцыянаванне кожнага кампанента абсталявання. Акрамя таго, майстэрня з пастаяннай тэмпературай і вільготнасцю (плошчай 10 000 квадратных метраў) забяспечвае стабільнае асяроддзе для апрацоўкі. Антывібрацыйныя траншэі шырынёй 500 мм і глыбінёй 2000 мм вакол яе, а таксама бясшумныя краны эфектыўна ізалююць знешнія вібрацыйныя перашкоды і забяспечваюць дакладнасць апрацоўкі асновы станка.
Акрамя таго, ZHHIMG® мае шырокія магчымасці налады. Для спецыяльных патрабаванняў паўправадніковага абсталявання можна загадзя падрыхтаваць дакладныя мантажныя адтуліны і кабельныя латкі, каб дасягнуць ідэальнай сумяшчальнасці паміж абсталяваннем і базай. Адначасова, у спалучэнні з метралагічным і выпрабавальным абсталяваннем сусветнага класа, такім як нямецкі хвілінны манометр Mahr (з дакладнасцю 0,5 мкм) і швейцарскі электронны ўзровень WYLER, база машыны строга правяраецца і калібруецца, каб гарантаваць, што кожная база машыны можа адпавядаць строгім патрабаванням паўправадніковага абсталявання да дакладнасці ўзроўню на субмікронным узроўні.
Менавіта спалучэнне гэтых пераваг робіць гранітную аснову ZHHIMG® надзейным выбарам для дасягнення субмікроннай дакладнасці ў паўправадніковым абсталяванні, дапамагаючы вытворчасці паўправаднікоў рухацца ў бок больш высокай дакладнасці.
Час публікацыі: 18 чэрвеня 2025 г.