У свеце вытворчасці паўправаднікоў неразбуральны кантроль пласцін з'яўляецца ключавым звяном для забеспячэння якасці чыпаў. Здавалася б, нязначная гранітная аснова насамрэч з'яўляецца «неапетым героем», які вызначае дакладнасць выяўлення. Як жа гэта ўплывае на вынікі выпрабаванняў? У гэтым артыкуле будзе праведзены паглыблены аналіз з улікам такіх аспектаў, як уласцівасці матэрыялаў і канструкцыя.
1. Стабільны падмурак: Натуральныя перавагі граніту закладваюць трывалую аснову для дакладнасці
1. Выдатныя сейсмічныя характарыстыкі
Падчас працы абсталявання для неразбуральнага кантролю пласцін кручэнне рухавіка і рух механічных кампанентаў будуць генераваць вібрацыі. Калі гэтыя вібрацыі не будуць эфектыўна падаўлены, яны будуць сур'ёзна перашкаджаць дакладнасці выпрабаванняў. Унутраная частка граніту цесна пераплецена з мінеральнымі крышталямі, такімі як кварц і палявы шпат. Яго ўнікальная структура надае яму натуральную здольнасць паглынаць вібрацыі, здольную паглынаць больш за 90% энергіі вібрацыі абсталявання. Фактычныя дадзеныя вымярэнняў аднаго вытворцы паўправаднікоў паказваюць, што пасля выкарыстання гранітнай асновы амплітуда вібрацыі абсталявання для выяўлення знізілася з 12 мкм да 2 мкм, што эфектыўна дазваляе пазбегнуць адхілення сігналу выяўлення, выкліканага вібрацыяй.
2. Вельмі нізкі каэфіцыент цеплавога пашырэння
Падчас працэсу выяўлення такія фактары, як награванне абсталявання і змены тэмпературы навакольнага асяроддзя, будуць уплываць на стабільнасць асновы машыны. Звычайныя матэрыялы значна пашыраюцца пры награванні, але каэфіцыент цеплавога пашырэння граніту складае ўсяго 1/5 ад каэфіцыента цеплавога пашырэння сталі. Нават калі тэмпература навакольнага асяроддзя вагаецца на 10℃, яго дэфармацыяй можна занядбаць. Гэта дазваляе гранітнай аснове забяспечваць стабільную апорную платформу для інспекцыйнага абсталявання, гарантуючы, што адноснае становішча паміж інспекцыйным зондам і пласцінай заўсёды застаецца дакладным, і пазбягаючы памылак інспекцыі, выкліканых цеплавой дэфармацыяй.
Па-другое, дакладная канструкцыя: структурная аптымізацыя яшчэ больш павышае надзейнасць выяўлення
Высокадакладная апрацоўка і гарантыя роўнасці
Высокаякасная гранітная аснова апрацоўваецца з дапамогай перадавой пяцівосевай тэхналогіі ЧПУ з плоскасцю ±0,5 мкм/м, што забяспечвае ультраплоскую ўстаноўку для інспекцыйнага абсталявання. Пры інспекцыі пласцін вертыкальнасць і роўнасць інспекцыйнага зонда маюць вырашальнае значэнне для вынікаў інспекцыі. Высокаядакладная гранітная аснова можа забяспечыць дакладнае пазіцыянаванне зонда, што робіць дадзеныя інспекцыі больш дакладнымі і надзейнымі.
2. Індывідуальная структурная адаптацыя
Гранітныя асновы машын можна адаптаваць да розных патрабаванняў абсталявання для неразбуральнага кантролю пласцін і працэсаў. Напрыклад, каб задаволіць патрабаванні да абсталявання для аптычнага кантролю адлюстравання святла, паверхня асновы машыны можа быць спецыяльна апрацавана; каб задаволіць патрабаванні да ўстаноўкі ультрагукавога кантрольнага абсталявання, аснова можа быць загадзя выраблена з дакладнымі мантажнымі адтулінамі і кабельнымі латкамі, што дазваляе хутка і дакладна ўсталяваць абсталяванне і паменшыць адхіленні выяўлення, выкліканыя памылкамі ўстаноўкі.
Iii. Доўгатэрміновая стабільнасць: Зніжэнне страты дакладнасці, выкліканай тэхнічным абслугоўваннем абсталявання
Граніт мае высокую цвёрдасць і высокую зносаўстойлівасць, з цвёрдасцю па шкале Мооса ад 6 да 7, што ў тры разы перавышае зносаўстойлівасць звычайнай сталі. Падчас працяглых аперацый кантролю паверхня асновы машыны не схільная да зносу і заўсёды можа падтрымліваць добры стан дакладнасці. У адрозненне ад гэтага, асновы з іншых матэрыялаў могуць прывесці да змен у арыенціры ўстаноўкі абсталявання з-за зносу, тым самым уплываючы на дакладнасць выяўлення і патрабуючы частай каліброўкі і тэхнічнага абслугоўвання. Працяглы тэрмін службы і высокая стабільнасць гранітнай асновы эфектыўна зніжаюць частату тэхнічнага абслугоўвання абсталявання і зніжаюць рызыку страты дакладнасці, якая можа ўзнікнуць падчас працэсу тэхнічнага абслугоўвання.
Ад ударатрываласці і цеплаўстойлівасці да дакладнага дызайну — кожная асаблівасць гранітнай асновы гарантуе дакладнасць неразбуральнага кантролю пласцін. У сучасную эпоху вытворчасці паўправаднікоў, якая імкнецца да найвышэйшай дакладнасці, выбар высакаякаснай гранітнай асновы падобны на даданне трывалага пласта страхоўкі да дакладнасці і надзейнасці вынікаў выпрабаванняў.
Час публікацыі: 18 чэрвеня 2025 г.