У цэху па вытворчасці паўправаднікоў патрабаванні да працэсу вытворчасці мікрасхем да ўмоў навакольнага асяроддзя і дакладнасці абсталявання вельмі высокія, і любое нязначнае адхіленне можа прывесці да значнага зніжэння выхаду мікрасхем. Платформа перамяшчэння партальнага перамяшчэння XYZT з высокай дакладнасцю абапіраецца на гранітныя кампаненты, якія ўзаемадзейнічаюць з іншымі часткамі платформы, ствараючы трывалую аснову для дасягнення нанамаштабнай дакладнасці.
Выдатныя ўласцівасці блакавання вібрацыі
У цэху па вытворчасці паўправаднікоў праца перыферыйнага абсталявання і перамяшчэнне персаналу могуць выклікаць вібрацыю. Унутраная структура гранітных кампанентаў шчыльная і аднастайная, з высокімі натуральнымі характарыстыкамі дэмпфіравання, падобна эфектыўнаму вібрацыйнаму "бар'еру". Калі знешняя вібрацыя перадаецца на платформу XYZT, гранітны кампанент можа эфектыўна аслабляць больш за 80% энергіі вібрацыі і зніжаць уплыў вібрацыі на дакладнасць руху платформы. У той жа час платформа абсталявана высокадакладнай сістэмай паветранага паплаўка, якая працуе сумесна з гранітнымі кампанентамі. Пнеўматычны паплаўк выкарыстоўвае стабільную газавую плёнку, утвораную газам пад высокім ціскам, для рэалізацыі бескантактавага руху падвескі рухомых частак платформы і зніжэння невялікіх вібрацый, выкліканых механічным трэннем. Разам яны забяспечваюць, каб дакладнасць пазіцыянавання платформы заўсёды заставалася на нанаметровым узроўні ў ключавых працэсах, такіх як літаграфія і травленне чыпаў, і пазбягаюць адхіленняў схем чыпаў, выкліканых вібрацыяй.
Выдатная тэрмічная стабільнасць
Ваганні тэмпературы і вільготнасці ў майстэрні аказваюць вялікі ўплыў на дакладнасць абсталявання для вытворчасці чыпаў. Каэфіцыент цеплавога пашырэння граніту вельмі нізкі, звычайна 5-7 × 10⁻⁶/℃, памер практычна не змяняецца пры змене тэмпературы. Нават калі розніца тэмператур паміж днём і ноччу ў майстэрні або выпрацоўка цяпла абсталяваннем выклікае ваганні тэмпературы навакольнага асяроддзя, гранітныя кампаненты могуць заставацца стабільнымі, каб прадухіліць дэфармацыю платформы з-за цеплавога пашырэння і сціскання. У той жа час інтэлектуальная сістэма кантролю тэмпературы, абсталяваная платформай, кантралюе тэмпературу навакольнага асяроддзя ў рэжыме рэальнага часу, аўтаматычна рэгулюе абсталяванне для кандыцыянавання паветра і адводу цяпла і падтрымлівае тэмпературу ў майстэрні на ўзроўні 20°C ±1°C. У спалучэнні з перавагамі цеплавой стабільнасці граніту, гэта гарантуе, што пры працяглай эксплуатацыі платформы дакладнасць руху кожнай восі заўсёды адпавядае стандартам нанаметровай дакладнасці для вытворчасці чыпаў, каб забяспечыць дакладнасць памеру літаграфічнага малюнка чыпа і аднастайную глыбіню травлення.
Задавальняць патрэбы чыстага навакольнага асяроддзя
У цэху па вытворчасці паўправаднікоў неабходна падтрымліваць высокую ступень чысціні, каб прадухіліць трапленне пылу ў чып. Сам граніт не ўтварае пылу, а паверхня гладкая і не лёгка ўбірае пыл. Платформа ў цэлым мае цалкам закрытую або напаўзакрытую канструкцыю, каб паменшыць трапленне знешняга пылу. Унутраная сістэма цыркуляцыі паветра звязана з сістэмай кандыцыянавання паветра ў цэху, каб гарантаваць, што чысціня паветра ў памяшканні дасягне ўзроўню, неабходнага для вытворчасці чыпаў. У такім чыстым асяроддзі гранітныя кампаненты не будуць уплываць на прадукцыйнасць з-за эрозіі пылу, а ключавыя кампаненты, такія як высокадакладныя датчыкі і рухавікі платформы, таксама могуць працаваць стабільна, забяспечваючы бесперапынную і надзейную гарантыю нанамаштабнай дакладнасці для вытворчасці чыпаў і дапамагаючы паўправадніковай прамысловасці перайсці на больш высокі ўзровень тэхналагічнага працэсу.
Час публікацыі: 14 красавіка 2025 г.