У вытворчасці паўправаднікоў фоталітаграфічная машына з'яўляецца ключавой прыладай, якая вызначае дакладнасць чыпаў, а гранітная аснова з яе шматлікімі характарыстыкамі стала неад'емным кампанентам фоталітаграфічнай машыны.
Тэрмастабільнасць: «Шчыт» ад перападаў тэмпературы
Падчас працы фоталітаграфічнага апарата выпрацоўваецца вялікая колькасць цяпла. Нават ваганні тэмпературы ўсяго на 0,1℃ могуць выклікаць дэфармацыю кампанентаў абсталявання і паўплываць на дакладнасць фоталітаграфіі. Каэфіцыент цеплавога пашырэння граніту надзвычай нізкі — усяго 4–8 ×10⁻⁶/℃, што прыкладна складае 1/3 ад каэфіцыента цеплавога пашырэння сталі і 1/5 ад каэфіцыента алюмініевага сплаву. Гэта дазваляе гранітнай аснове захоўваць стабільнасць памераў пры працяглай працы фоталітаграфічнага апарата або змене тэмпературы навакольнага асяроддзя, што забяспечвае дакладнае пазіцыянаванне аптычных кампанентаў і механічных канструкцый.
Суперантывібрацыйныя характарыстыкі: «губка», якая паглынае вібрацыю
На заводзе па вытворчасці паўправаднікоў праца навакольнага абсталявання і рух людзей могуць ствараць вібрацыі. Граніт мае высокую шчыльнасць і цвёрдую тэкстуру, а таксама выдатныя дэмпфіруючыя ўласцівасці, з каэфіцыентам дэмпфіравання ў 2-5 разоў вышэйшым, чым у металаў. Калі знешнія вібрацыі перадаюцца на аснову граніту, трэнне паміж унутранымі мінеральнымі крышталямі пераўтварае энергію вібрацыі ў цеплавую энергію для рассейвання, што можа значна знізіць вібрацыю за кароткі час, дазваляючы фоталітаграфічнаму апарату хутка аднаўляць стабільнасць і пазбягаць размыцця або няправільнага выраўноўвання фоталітаграфічнага малюнка з-за вібрацыі.
Хімічная стабільнасць: «Абарона» чыстага навакольнага асяроддзя
Унутраная частка фоталітаграфічнай машыны кантактуе з рознымі хімічнымі асяроддзямі, і звычайныя металічныя матэрыялы схільныя да карозіі або вызвалення часціц. Граніт складаецца з такіх мінералаў, як кварц і палявы шпат. Ён мае стабільныя хімічныя ўласцівасці і высокую каразійную ўстойлівасць. Пасля замочвання ў кіслотных і шчолачных растворах павярхоўная карозія надзвычай малая. Пры гэтым яго шчыльная структура практычна не ўтварае смецця або пылу, што адпавядае патрабаванням самых высокіх стандартаў чыстых памяшканняў і зніжае рызыку забруджвання пласцін.
Адаптыўнасць апрацоўкі: «ідэальны матэрыял» для стварэння дакладных эталонаў
Асноўныя кампаненты фоталітаграфічнай машыны павінны быць устаноўлены на высокадакладнай эталоннай паверхні. Унутраная структура граніту аднастайная, і яго лёгка апрацоўваць з надзвычай высокай дакладнасцю з дапамогай шліфоўкі, паліроўкі і іншых метадаў. Яго плоскасць можа дасягаць ≤0,5 мкм/м, а шурпатасць паверхні Ra ≤0,05 мкм, што забяспечвае дакладную аснову для ўстаноўкі такіх кампанентаў, як аптычныя лінзы.
Доўгі тэрмін службы і адсутнасць неабходнасці абслугоўвання: «Вострыя інструменты» для зніжэння выдаткаў
У параўнанні з металічнымі матэрыяламі, схільнымі да стомленасці і расколін пры працяглым выкарыстанні, граніт практычна не падвяргаецца пластычнай дэфармацыі або разбурэнню пры нармальных нагрузках і не патрабуе апрацоўкі паверхні, што дазваляе пазбегнуць рызыкі адслойвання і забруджвання пакрыцця. На практыцы, нават пасля многіх гадоў выкарыстання, ключавыя паказчыкі прадукцыйнасці гранітнай асновы могуць заставацца стабільнымі, што зніжае выдаткі на эксплуатацыю і абслугоўванне абсталявання.
Ад тэрмічнай стабільнасці і вібраўстойлівасці да хімічнай інертнасці — шматлікія характарыстыкі гранітнай асновы ідэальна адпавядаюць патрабаванням фоталітаграфічнай машыны. Па меры развіцця працэсу вытворчасці мікрасхем у напрамку павышэння дакладнасці гранітныя асновы будуць працягваць адыгрываць незаменную ролю ў галіне вытворчасці паўправаднікоў.
Час публікацыі: 20 мая 2025 г.