У галіне вытворчасці паўправаднікоў, як асноўнага абсталявання, якое вызначае дакладнасць працэсу вырабу мікрасхем, стабільнасць унутранага асяроддзя фоталітаграфічнай машыны мае жыццёва важнае значэнне. Ад узбуджэння крыніцы экстрэмальнага ультрафіялетавага выпраменьвання да працы нанамаштабнай платформы дакладнага руху, не можа быць ні найменшага адхілення ў кожным звяне. Гранітныя асновы, якія валодаюць шэрагам унікальных уласцівасцей, дэманструюць беспрэцэдэнтныя перавагі ў забеспячэнні стабільнай працы фоталітаграфічных машын і павышэнні дакладнасці фоталітаграфіі.
Выдатная эфектыўнасць электрамагнітнага экранавання
Унутраная прастора фоталітаграфічнай машыны запоўнена складаным электрамагнітным асяроддзем. Электрамагнітныя перашкоды (ЭМП), якія генеруюцца такімі кампанентамі, як крыніцы экстрэмальнага ультрафіялетавага выпраменьвання, прывадныя рухавікі і высокачастотныя крыніцы харчавання, калі іх не кантраляваць эфектыўна, сур'ёзна паўплываюць на прадукцыйнасць дакладных электронных кампанентаў і аптычных сістэм у абсталяванні. Напрыклад, перашкоды могуць выклікаць невялікія адхіленні ў фоталітаграфічных малюнках. У складаных вытворчых працэсах гэтага дастаткова, каб прывесці да няправільнага падключэння транзістараў на чыпе, што значна зніжае выхад чыпа.
Граніт — гэта неметалічны матэрыял, які сам па сабе не праводзіць электрычнасць. У ім няма з'явы электрамагнітнай індукцыі, выкліканай рухам свабодных электронаў унутры, як у металічных матэрыялах. Гэтая характарыстыка робіць яго натуральным электрамагнітным экраніруючым целам, якое можа эфектыўна блакаваць шлях перадачы ўнутраных электрамагнітных перашкод. Калі пераменнае магнітнае поле, якое ствараецца знешняй крыніцай электрамагнітных перашкод, распаўсюджваецца на гранітную аснову, паколькі граніт немагнітны і не можа быць намагнічаны, пераменнае магнітнае поле цяжка пранікае, тым самым абараняючы асноўныя кампаненты фоталітаграфічнай машыны, усталяванай на аснове, такія як дакладныя датчыкі і прылады рэгулявання аптычных лінзаў, ад уздзеяння электрамагнітных перашкод і забяспечваючы дакладнасць перадачы малюнка падчас працэсу фоталітаграфіі.
Выдатная сумяшчальнасць з вакуумам
Паколькі экстрэмальнае ультрафіялетавае выпраменьванне (ЭУФ) лёгка паглынаецца ўсімі рэчывамі, у тым ліку паветрам, літаграфічныя машыны ЭУФ павінны працаваць у вакуумным асяроддзі. У гэтым выпадку сумяшчальнасць кампанентаў абсталявання з вакуумным асяроддзем становіцца асабліва важнай. У вакууме матэрыялы могуць растварацца, дэсарбавацца і вылучаць газ. Вылучаны газ не толькі паглынае ЭУФ-святло, зніжаючы інтэнсіўнасць і эфектыўнасць перадачы святла, але і можа забруджваць аптычныя лінзы. Напрыклад, вадзяная пара можа акісляць лінзы, а вуглевадароды могуць адкладаць вугляродныя пласты на лінзах, што сур'ёзна ўплывае на якасць літаграфіі.
Граніт мае стабільныя хімічныя ўласцівасці і амаль не вылучае газ у вакуумным асяроддзі. Згодна з прафесійнымі выпрабаваннямі, у мадэляваным вакуумным асяроддзі фоталітаграфічнай машыны (напрыклад, у звышчыстым вакуумным асяроддзі, у якім знаходзяцца аптычная сістэма асвятлення і аптычная сістэма візуалізацыі ў асноўнай камеры, што патрабуе H₂O < 10⁻⁵ Па, CₓHᵧ < 10⁻⁷ Па), хуткасць газааддзялення гранітнай асновы надзвычай нізкая, значна ніжэйшая, чым у іншых матэрыялаў, такіх як металы. Гэта дазваляе ўнутранай частцы фоталітаграфічнай машыны падтрымліваць высокую ступень вакууму і чысціню на працягу доўгага часу, забяспечваючы высокую прапускальнасць EUV-святла падчас прапускання і звышчыстае асяроддзе выкарыстання для аптычных лінзаў, падаўжаючы тэрмін службы аптычнай сістэмы і паляпшаючы агульную прадукцыйнасць фоталітаграфічнай машыны.
Высокая ўстойлівасць да вібрацыі і тэрмічная стабільнасць
Падчас працэсу фоталітаграфіі дакладнасць на нанаметровым узроўні патрабуе, каб фоталітаграфічная машына не мела ні найменшай вібрацыі або цеплавой дэфармацыі. Вібрацыі навакольнага асяроддзя, якія ўзнікаюць пры працы іншага абсталявання і руху персаналу ў майстэрні, а таксама цяпло, якое выпрацоўваецца самой фоталітаграфічнай машынай падчас працы, могуць паўплываць на дакладнасць фоталітаграфіі. Граніт мае высокую шчыльнасць і цвёрдую тэкстуру, а таксама выдатную вібраўстойлівасць. Яго ўнутраная мінеральна-крышталічная структура кампактная, што дазваляе эфектыўна памяншаць энергію вібрацыі і хутка падаўляць яе распаўсюджванне. Эксперыментальныя дадзеныя паказваюць, што пры ўздзеянні адной і той жа крыніцы вібрацыі гранітная аснова можа знізіць амплітуду вібрацыі больш чым на 90% на працягу 0,5 секунды. У параўнанні з металічнай асновай, яна можа хутчэй аднавіць стабільнасць абсталявання, забяспечваючы дакладнае адноснае становішча паміж фоталітаграфічнай лінзай і пласцінай, пазбягаючы размыцця малюнка або няправільнага выраўноўвання, выкліканага вібрацыяй.
Тым часам каэфіцыент цеплавога пашырэння граніту надзвычай нізкі, прыкладна (4-8) × 10⁻⁶/℃, што значна ніжэй, чым у металічных матэрыялаў. Падчас працы фоталітаграфічнай машыны, нават калі ўнутраная тэмпература вагаецца з-за такіх фактараў, як выдзяленне цяпла ад крыніцы святла і трэнне ад механічных кампанентаў, гранітная аснова можа захоўваць стабільнасць памераў і не будзе падвяргацца значнай дэфармацыі з-за цеплавога пашырэння і сціскання. Яна забяспечвае стабільную і надзейную падтрымку аптычнай сістэмы і платформы высокага ціску, падтрымліваючы стабільнасць дакладнасці фоталітаграфіі.
Час публікацыі: 20 мая 2025 г.