У галіне высакаякаснай вытворчасці і перадавых навуковых даследаванняў ультрадакладны модуль руху паветранага паплаўка стаў ключавым абсталяваннем для дакладнай працы і вымярэнняў дзякуючы сваім выдатным дакладным характарыстыкам. Гранітная дакладная аснова, як апорны стрыжань, мае строгія патрабаванні да працоўнага асяроддзя, і адпаведныя ўмовы навакольнага асяроддзя з'яўляюцца асновай для забеспячэння яго стабільнай працы і найлепшага эфекту.
Па-першае, кантроль тэмпературы: дакладны «стабілізатар»
Нягледзячы на тое, што граніт вядомы сваёй стабільнасцю, ён не цалкам устойлівы да перападаў тэмпературы. Нягледзячы на нізкі каэфіцыент цеплавога пашырэння, які звычайна складае 5-7 ×10⁻⁶/℃, у сцэнарах звышдакладнага кіравання рухам невялікія ваганні тэмпературы могуць выклікаць змены памераў і паўплываць на дакладнасць модуля. У цэху па вытворчасці паўправадніковых мікрасхем працэс літаграфіі патрабуе дакладнасці пазіцыянавання на ўзроўні данамі, а тэмпература навакольнага асяроддзя вагаецца на 1 °C, і гранітная аснова з даўжынёй боку 1 метр можа прывесці да лінейнага пашырэння або сціскання на 5-7 мікрон. Гэта невялікае змяненне перадаецца звышдакладным модулем руху паветранага паплаўка, чаго дастаткова, каб выклікаць адхіленне шаблону літаграфіі мікрасхемы і значна знізіць выхад прадукцыі. Такім чынам, абсталяваны гранітнай дакладнай асновай паветрана-плавучага ультрадакладнага модуля руху, ідэальная тэмпература працоўнага асяроддзя павінна кантралявацца на ўзроўні 20°C ±1°C з дапамогай высокадакладнага абсталявання для пастаяннай тэмпературы, напрыклад, сістэмы кандыцыянавання паветра з пастаяннай тэмпературай і вільготнасцю, якая бесперапынна кантралюе і рэгулюе тэмпературу навакольнага асяроддзя, каб забяспечыць ваганні тэмпературы ў вельмі малым дыяпазоне, падтрымліваць стабільнасць памеру асновы і гарантаваць высокадакладную працу модуля.
Па-другое, кіраванне вільготнасцю: ключ да вільгаценепранікальнай абароны "каменя"
Вільготнасць — яшчэ адзін важны фактар, які ўплывае на прадукцыйнасць дакладнай гранітнай асновы. Ва ўмовах высокай вільготнасці граніт лёгка паглынае вадзяную пару, што можа прывесці да кандэнсацыі на паверхні. Гэта не толькі ўплывае на стабільнасць злучэння граніту і звышдакладнага модуля руху паветранага паплаўка, але і можа выклікаць эрозію паверхні, а ў доўгатэрміновай перспектыве — знізіць бляск і дакладнасць. У майстэрні па шліфаванні аптычных лінзаў, калі вільготнасць доўга перавышае 60% адноснай вільготнасці, вадзяная пара, якая адсарбуецца на паверхні гранітнай асновы, будзе перашкаджаць руху паўзунка газавага паплаўка, што прывядзе да зніжэння дакладнасці шліфоўкі лінз і дэфектаў паверхні. Таму адносная вільготнасць працоўнага асяроддзя павінна строга кантралявацца ў межах 40-60% адноснай вільготнасці і кантралявацца ў рэжыме рэальнага часу шляхам усталёўкі асушальнікаў паветра, датчыкаў вільготнасці і іншага абсталявання, каб пазбегнуць пашкоджання гранітнай асновы з-за высокай вільготнасці і забяспечыць бесперабойную працу звышдакладнага модуля руху паветранага паплаўка.
Па-трэцяе, гарантыя чысціні: «вартаўнік» дакладнасці
Нельга недаацэньваць шкоду, якую часціцы пылу наносяць дакладнай гранітнай аснове звышдакладнага рухомага модуля паветранай флотацыі. Калі драбнюткія часціцы трапляюць у зазор газавай плёнкі паміж паўзунком газавага паплаўка і гранітнай асновай, яны могуць парушыць аднастайнасць газавай плёнкі, павялічыць трэнне і нават падрапаць паверхню асновы, што прывядзе да зніжэння дакладнасці руху. У цэху звышдакладнай апрацоўкі авіякасмічных дэталяў, калі часціцы пылу з паветра трапляюць на гранітную аснову, траекторыя руху апрацоўчага інструмента можа адхіляцца, што ўплывае на дакладнасць апрацоўкі дэталяў. Таму рабочая зона павінна падтрымлівацца ў высокай чысціні, дасягаючы ўзроўню чысціні 10 000 або нават вышэй, шляхам усталёўкі абсталявання для ачысткі паветра, напрыклад, высокаэфектыўных паветраных фільтраў (HEPA), якія фільтруюць часціцы пылу ў паветры. У той жа час персанал павінен насіць вопратку без пылу, бахілы і г.д., каб паменшыць колькасць пылу, які ўносіцца людзьмі. Падтрымлівайце высокую дакладнасць аперацыйнага асяроддзя гранітнай асновы і звышдакладнага рухомага модуля паветранага паплаўка.
Чатыры, вібраізаляцыя: плаўная праца "ўдарнай пляцоўкі"
Знешняя вібрацыя з'яўляецца ворагам дакладнасці звышдакладнага модуля руху паветранага паплаўка. Нягледзячы на тое, што дакладная гранітная аснова мае пэўную здольнасць да паслаблення вібрацыі, высокатрывалая вібрацыя ўсё ж можа парушыць яе буферную мяжу. Вібрацыя, якая ўзнікае ў выніку руху транспарту вакол завода і працы буйнога механічнага абсталявання, перадаецца на гранітную аснову праз зямлю, што будзе перашкаджаць дакладнасці руху звышдакладнага модуля руху паветранага паплаўка. У высакаякасных КІМ вібрацыя можа прывесці да нестабільнасці кантакту паміж вымяральным зондам і вымяральнай дэталлю, што прывядзе да адхілення дадзеных вымярэнняў. Каб вырашыць гэтую праблему, неабходна прыняць эфектыўныя меры вібраізаляцыі, такія як укладка вібраізаляцыйных пракладак у зоне ўстаноўкі абсталявання, будаўніцтва вібраізаляцыйнага падмурка або выкарыстанне актыўнай сістэмы вібраізаляцыі для актыўнай кампенсацыі знешняй вібрацыі і стварэння ціхага і стабільнага працоўнага асяроддзя для дакладнай гранітнай асновы і звышдакладнага модуля руху паветранага паплаўка.
Толькі пры поўным задавальненні патрабаванняў да навакольнага асяроддзя, такіх як тэмпература, вільготнасць, чысціня і кантроль вібрацыі, гранітная дакладная аснова звышдакладнага модуля руху паветранага паплаўка можа ў поўнай меры рэалізаваць свае перавагі ў прадукцыйнасці, забяспечыць надзейную гарантыю звышдакладных аперацый у розных галінах і дапамагчы прамысловасці перайсці на больш высокі ўзровень дакладнай вытворчасці і навуковых даследаванняў.
Час публікацыі: 08 красавіка 2025 г.