У галіне дакладнай вытворчасці і навуковых даследаванняў роўнасць гранітных дакладных платформаў з'яўляецца ключавым паказчыкам для забеспячэння дакладнасці абсталявання. Ніжэй прыведзены падрабязны агляд некалькіх асноўных метадаў выяўлення і працэдур іх эксплуатацыі.
I. Лазерны інтэрфераметрычны метад выяўлення
Лазерны інтэрферометр з'яўляецца пераважным інструментам для высокадакладнага выяўлення плоскасці. Возьмем, напрыклад, лазерны інтэрферометр ZYGO GPI XP, яго раздзяляльная здольнасць можа дасягаць 0,1 нм. Пры правядзенні выяўлення спачатку неабходна выраўнаваць крыніцу святла інтэрферометра з платформай і падзяліць паверхню платформы на вобласці сеткі 50 мм × 50 мм. Пасля гэтага дадзеныя інтэрферэнцыйных палос збіраліся кропка за кропкай, а дадзеныя падганяліся і аналізаваліся з выкарыстаннем палінома Цэрніке для атрымання памылкі плоскасці. Гэты метад прыдатны для высокадакладных платформаў і можа выяўляць памылкі плоскасці ≤0,5 мкм/м². Ён шырока выкарыстоўваецца пры выяўленні фоталітаграфічных машын і платформаў высокага класа з трохкаардынатнымі вымяральнымі машынамі.
II. Метад электроннага ўзроўню масіва
Электронны ўзровень з масівам просты ў эксплуатацыі і вельмі эфектыўны. Быў абраны электронны ўзровень TESA A2 (з дазволам 0,01 мкм/м) і размешчаны ў масіве 9×9 уздоўж восі X/Y платформы. Шляхам сінхроннага збору дадзеных аб нахіле кожнага ўзроўню і наступнага выкарыстання метаду найменшых квадратаў для разліку можна дакладна атрымаць значэнне плоскасці. Гэты метад дазваляе эфектыўна вызначаць лакальныя ўвагнутасці і выпукласці платформы. Напрыклад, можна выявіць ваганні 0,2 мкм у дыяпазоне 50 мм, што падыходзіць для хуткага выяўлення ў масавай вытворчасці.
Iii. Аптычны метад плоскіх крышталяў
Метад аптычнага плоскага крышталя падыходзіць для выяўлення платформаў невялікай плошчы. Шчыльна прымацуйце аптычны плоскі крышталь да паверхні, якую трэба праверыць, на платформе і назірайце за інтэрферэнцыйнымі палосамі, якія ўтвараюцца паміж імі, пад асвятленнем манахраматычнай крыніцы святла (напрыклад, натрыевай лямпы). Калі палосы паралельныя прамым палосам, гэта сведчыць аб добрай плоскасці. Калі з'яўляюцца выгнутыя палосы, разлічыце памылку плоскасці на аснове ступені крывізны палос. Кожная выгнутая палоса ўяўляе сабой розніцу вышынь 0,316 мкм, і дадзеныя аб плоскасці можна атрымаць шляхам простага пераўтварэння.
Чатыры. Метад кантролю з дапамогай трохкаардынатнай вымяральнай машыны
Трохкаардынатная вымяральная машына можа дасягаць высокадакладных вымярэнняў у трохмернай прасторы. Размясціце гранітную платформу на працоўным стале вымяральнай машыны і выкарыстоўвайце зонд для раўнамернага збору дадзеных з некалькіх кропак вымярэння на паверхні платформы. Сістэма вымяральнай машыны апрацоўвае і аналізуе гэтыя дадзеныя, каб стварыць справаздачу аб плоскасці платформы. Гэты метад можа не толькі выяўляць плоскасць, але і адначасова атрымліваць іншыя геаметрычныя параметры платформы і падыходзіць для комплекснага выяўлення вялікіх гранітных платформаў.
Валоданне гэтымі метадамі выяўлення можа дапамагчы вам дакладна ацаніць роўнасць гранітнай дакладнай платформы і забяспечыць надзейную гарантыю стабільнай працы дакладнага абсталявання.
Час публікацыі: 29 мая 2025 г.