Рэвалюцыя дакладнасці ў вытворчасці паўправаднікоў: калі граніт сустракаецца з мікроннай тэхналогіяй
1.1 Нечаканыя адкрыцці ў матэрыялазнаўстве
Згодна са справаздачай SEMI International Semiconductor Association за 2023 год, 63% перадавых сусветных заводаў пачалі выкарыстоўваць гранітныя асновы замест традыцыйных металічных платформаў. Гэты натуральны камень, які паходзіць з кандэнсацыі магмы глыбока ў Зямлі, перапісвае гісторыю вытворчасці паўправаднікоў дзякуючы сваім унікальным фізічным уласцівасцям:
Перавага цеплавой інерцыі: каэфіцыент цеплавога пашырэння граніту 4,5×10⁻⁶/℃ складае ўсяго 1/5 ад каэфіцыента нержавеючай сталі, а стабільнасць памераў ±0,001 мм падтрымліваецца пры бесперапыннай працы літаграфічнай машыны.
Характарыстыкі гашэння вібрацыі: каэфіцыент унутранага трэння ў 15 разоў вышэйшы, чым у чыгуну, эфектыўна паглынаючы мікравібрацыю абсталявання
Нулявая намагнічанасць: цалкам ліквідуе магнітную памылку пры лазерным вымярэнні
1.2 Падарожжа метамарфозы ад шахты да фабрыкі
У якасці прыкладу можна ўзяць інтэлектуальную вытворчую базу ZHHIMG у правінцыі Шаньдун, дзе кавалак неапрацаванага граніту павінен прайсці:
Звышдакладная апрацоўка: пяцівосевы рычажны апрацоўчы цэнтр для 200 гадзін бесперапыннага фрэзеравання, шурпатасць паверхні да Ra0,008 мкм
Штучнае старэнне: 48 гадзін натуральнага зняцця напружання ў майстэрні з пастаяннай тэмпературай і вільготнасцю, што паляпшае стабільнасць прадукту на 40%.
Па-другое, разабрацца з шасцю праблемамі дакладнасці вытворчасці паўправаднікоў "рашэннем з каменя"
2.1 Схема зніжэння хуткасці фрагментацыі пласцін
Дэманстрацыя выпадку: Пасля таго, як ліцейны завод па вытворчасці мікрасхем у Германіі ўкараніў нашу гранітную платформу з газавай плавучай сістэмай:
| Дыяметр пласціны | зніжэнне хуткасці чыпаў | паляпшэнне роўнасці |
| 12 цаляў | 67% | ≤0,001 мм |
| 18 цаляў | 82% | ≤0,0005 мм |
2.2 Схема прарыву дакладнасці літаграфічнага выраўноўвання
Сістэма кампенсацыі тэмпературы: убудаваны керамічны датчык кантралюе зменную формы ў рэжыме рэальнага часу і аўтаматычна рэгулюе нахіл платформы
Вымераныя дадзеныя: пры ваганнях тэмпературы 28℃±5℃ дакладнасць убудавання вагаецца менш за 0,12 мкм.
Час публікацыі: 24 сакавіка 2025 г.