У высокаканкурэнтным свеце вытворчасці перадавых дысплеяў розніца паміж лідэрствам на рынку і састарэннем часта зводзіцца да аднаго фактару: дакладнасці. Выраб і кантроль нізкатэмпературных полікрышталічных крэмніевых (LTPS) масіваў — асновы для высокаразрозных і высокапрадукцыйных OLED- і LCD-экранаў — патрабуюць дапушчальных значэнняў, якія пашыраюць межы інжынерных здольнасцей. Дасягненне гэтага звышвысокага ўзроўню дакладнасці пачынаецца з фізічнай асновы самога абсталявання. Вось чаму выбар гранітнай асновы для абсталявання LTPS Array — гэта не проста выбар дызайну, а фундаментальнае патрабаванне.
Працэсы, якія ўдзельнічаюць у вырабе LTPS-матрыц, асабліва лазерная крышталізацыя і наступныя этапы фоталітаграфіі і нанясення пакрыццяў, неверагодна адчувальныя да шуму навакольнага асяроддзя, у тым ліку да нязначных вібрацый і тэрмічных зрухаў. Нават у самым старанна кантраляваным асяроддзі чыстага памяшкання нязначныя змены могуць крытычна паўплываць на выхад і аднастайнасць масіва. Этап кантролю, які выконваецца з дапамогай высокатэхналагічнага абсталявання для забеспячэння ідэальнай формы кожнага транзістара, патрабуе яшчэ большай ступені структурнай цэласнасці. Менавіта ў гэтай галіне сапраўды пераўзыходзіць абсталяванне для кантролю нізкатэмпературных полікрэмніевых масіваў плоскіх дысплеяў.
Цеплавыя і дынамічныя патрабаванні да інспекцыі LTPS
Тэхналогія LTPS забяспечвае больш хуткую рухомасць электронаў, што дазваляе выкарыстоўваць меншыя і больш эфектыўныя транзістары, а таксама прыводзіць да стварэння дысплеяў з уражлівай частатой абнаўлення і меншым энергаспажываннем. Аднак структуры, якія выкарыстоўваюцца, мікраскапічныя і вымяраюцца мікронамі. Каб складанае абсталяванне для кантролю магло дакладна знаходзіць, вымяраць і аналізаваць дэфекты, яго аперацыйная платформа павінна быць практычна нерухомай і нязменнай па памерах.
Традыцыйныя матэрыялы, такія як чыгун або сталь, хоць і трывалыя, па сваёй прыродзе схільныя да цеплавога пашырэння. Каэфіцыент цеплавога пашырэння (КТР) для звычайнай сталі значна вышэйшы, чым у чорнага граніту. Гэта азначае, што невялікае павышэнне тэмпературы навакольнага асяроддзя, магчыма, усяго на адзін-два градусы, прывядзе да больш значнага пашырэння і сціскання сталёвай канструкцыі машыны. У кантэксце кантролю масіваў гэты цеплавы дрэйф выклікае памылкі становішча, няправільнае выраўноўванне аптычнага шляху і патэнцыйна недакладныя паказанні, якія могуць прывесці да адбракоўкі добрых панэляў або прыняцця дэфектных.
І наадварот, выкарыстанне спецыялізаванай гранітнай станіны для абсталявання LTPS Array забяспечвае платформу з выключна нізкім КТР. Такая тэрмічная стабільнасць гарантуе, што крытычная геаметрыя машыны — адлегласць паміж вымяральным датчыкам і падкладкай LTPS — застаецца нязменнай, што дазваляе праводзіць паслядоўныя, паўтаральныя субмікронныя вымярэнні, неабходныя для кантролю якасці.
Непераўзыдзенае гашэнне вібрацый і калянасць
Акрамя тэрмічнай стабільнасці, уласцівасці граніту даюць значную перавагу ў кіраванні дынамічнымі сіламі і вібрацыямі. Сучасныя сістэмы кантролю выкарыстоўваюць высакахуткасныя платформы і складаныя механізмы сканавання, якія генеруюць нязначныя механічныя рухі і вібрацыі. Гэтыя ўнутраныя сілы ў спалучэнні з знешнім шумам ад вентыляцыйных апаратаў або суседняга абсталявання павінны быць хутка нейтралізаваны, каб прадухіліць размыццё ад руху або нестабільнасць паказанняў.
Высокая ўнутраная дэмпфіруючая здольнасць граніту, уласцівасць, якая дазваляе яму рассейваць энергію вібрацый значна хутчэй, чым металам, тут мае вырашальнае значэнне. Ён дзейнічае як пасіўны амартызатар, гарантуючы, што машына хутка вяртаецца ў стан ідэальнай нерухомасці пасля кожнага руху. Высокі модуль пругкасці і шчыльнасць каменя таксама спрыяюць надзвычай жорсткай канструкцыі, мінімізуючы статычны прагін пад вагой цяжкіх партальных сістэм, аптычных вузлоў і вакуумных камер.
Па сутнасці, выбіраючы дакладна апрацаваную гранітную аснову для масіваў LTPS, інжынеры ствараюць тэрмаўстойлівую, акустычна бясшумную і структурна жорсткую аснову. Гэты трыумвірат уласцівасцей не падлягае абмеркаванню для дасягнення мэтавых паказчыкаў прадукцыйнасці і прыбытку, неабходных для вытворчасці сучасных дысплеяў LTPS.
Інжынерная дасканаласць ад прыроды
Канчатковы прадукт — аснова гранітнай машыны — вельмі адрозніваецца ад неапрацаванага кар'ернага каменя. Гэта шэдэўр метралогіі, часта апрацаваны з допускамі, якія вымяраюцца ў дыяпазоне малых мікронаў або нават субмікронаў. Выкарыстоўваюцца спецыяльныя метады, каб гарантаваць, што граніт зняты з напружання і ідэальна роўны. Гэты высокаачышчаны прыродны матэрыял забяспечвае найлепшую плоскасць адліку, адносна якой калібруюцца ўсе наступныя механічныя і аптычныя выраўноўванні.
Для вытворцаў абсталявання для масіваў LTPS інтэграцыя высокадакладнага граніту гарантуе бесперапынную працу іх машын з максімальнай прадукцыйнасцю, што непасрэдна прыводзіць да больш высокай ураджайнасці і лепшай якасці дысплеяў для спажывецкага рынку. Гэта сведчыць аб тым, што калі інжынерыя патрабуе абсалютнай дасканаласці, найбольш надзейным рашэннем з'яўляецца выкарыстанне самага стабільнага прыроднага матэрыялу на зямлі.
Час публікацыі: 03 снежня 2025 г.