Падтрыманне дакладнасці гранітнай платформы, як эталоннага інструмента для дакладных вымярэнняў і апрацоўкі, непасрэдна ўплывае на якасць прадукцыі. Ніжэй прыведзены сістэматычны план тэхнічнага абслугоўвання, які ахоплівае кантроль навакольнага асяроддзя, штодзённае абслугоўванне і прафесійную каліброўку, каб гарантаваць, што платформа будзе падтрымліваць дакладнасць на нанаметровым узроўні на працягу доўгага часу.
1. Кантроль уздзеяння навакольнага асяроддзя: стварэнне дакладнага ахоўнага бар'ера
Кіраванне тэмпературай і вільготнасцю
Тэмпературу працоўнага асяроддзя неабходна стабілізаваць на ўзроўні 20±1℃. Кожнае ваганне на 1℃ прывядзе да цеплавой дэфармацыі гранітнай платформы на 0,5-1 мкм/м. У майстэрні можна ўсталяваць сістэму пастаяннай тэмпературы, каб прадухіліць прамы паток паветра з выхадаў кандыцыянера на платформу.
Вільготнасць паветра павінна кантралявацца ў межах ад 40% да 60%. Залішняя вільготнасць можа лёгка выклікаць іржу на металічных дэталях, а занадта нізкая вільготнасць можа прывесці да статычнай электрычнасці, якая перашкаджае вымярэнню.
Вібраізаляцыя
Платформу варта размяшчаць далей ад крыніц вібрацыі, такіх як штамповачныя і фрэзерныя станкі. Рэкамендуецца захоўваць адлегласць больш за 3 метры ад вібрацыйнага абсталявання.
Калі вібрацыі немагчыма пазбегнуць, у ніжняй частцы платформы можна ўсталяваць пнеўматычныя амартызатары, каб паменшыць уплыў вібрацыі навакольнага асяроддзя на роўнасць платформы (што можа знізіць знешнюю вібрацыю больш чым на 80%).
2. Штодзённае абслугоўванне: дбайны кантроль ад чысткі да абароны
Спецыфікацыя па ачыстцы паверхняў
Выдаленне пылу: працірайце паверхню аленевай скурай або тканінай без ворса ў адным кірунку кожны дзень, каб прадухіліць падрапанне платформы часцінкамі пылу (≥5 мкм). Устойлівыя плямы можна акуратна сцерці бязводным этанолам (чысціня ≥99,7%). Нельга выкарыстоўваць моцныя растваральнікі, такія як ацэтон.
Абястлушчванне: Калі паверхня трапіла ў кантакт з алейнымі плямамі, працярыце яе разведзеным нейтральным ачышчальнікам, затым прамыйце дэіянізаванай вадой і высушыце на паветры, каб прадухіліць пранікненне мінеральнага алею ў драбнюткія пары платформы.
Абарона ад нагрузкі і сутыкненняў
Грузападымальнасць платформы павінна кантралявацца ў межах 70% ад намінальнай нагрузкі (напрыклад, для платформы вагой 1000 кг рэкамендуецца, каб нагрузка была ≤700 кг), каб пазбегнуць рэшткавай дэфармацыі, выкліканай лакальнай перагрузкай.
Катэгарычна забараняецца ўдараць дэталямі па платформе. Пры працы з інструментамі апранайце мяккія пальчаткі, каб пазбегнуць драпін на паверхні вострымі прадметамі (драпіны глыбінёй больш за 20 мкм паўплываюць на вымярэнне шляху адлюстраванага святла).
3. Прафесійная каліброўка: аснова навуковага падтрымання дакладнасці
Налада цыклу каліброўкі
Звычайныя сцэнарыі выкарыстання: каліброўка раз у квартал і выкарыстанне лазернага інтэрферометра для выяўлення плоскасці (з дакладнасцю ±0,5 мкм/м).
Высокачастотнае выкарыстанне або агрэсіўныя ўмовы: штомесячная каліброўка з акцэнтам на маніторынг тэмпературна-адчувальных зон (напрыклад, краю платформы паблізу крыніц цяпла).
Апрацоўка пасля каліброўкі
Калі выяўлена адхіленне ад плоскасці (напрыклад, > ±1 мкм/м), яго неабходна адшліфаваць і адрамантаваць прафесійным спецыялістам з выкарыстаннем мікрапарашка W1.5. Самастойная шліфоўка наждачнай паперай строга забароненая.
Пасля каліброўкі дадзеныя павінны быць запісаны і архіваваны, а таксама павінна быць створана крывая затухання дакладнасці платформы, каб загадзя прагназаваць патрабаванні да тэхнічнага абслугоўвання.
4. Захоўванне і транспарціроўка: пазбягайце схаваных страт дакладнасці
Ключавыя моманты для доўгатэрміновага захоўвання
Пры захоўванні яе трэба накрываць вільгаценепранікальнай і пыланепранікальнай вечкам. Дно павінна быць абапірацца на тры кропкі (кропка апоры знаходзіцца на 2/9 даўжыні платформы), каб прадухіліць дэфармацыю пры выгібе, выкліканую сілай цяжару (платформа даўжынёй 1 метр можа прагінацца на 0,3 мкм з-за працяглай кропкавай апоры).
Рэгулярна (штомесяц) змяняйце становішча кропак апоры платформы, каб пазбегнуць доўгатэрміновага лакальнага ціску.
План абароны транспарту
Перавозка на кароткія адлегласці: абгарніце ўдарапаглынальнай пенай, зафіксуйце ў жорсткай раме і падтрымлівайце паскарэнне ў межах 2g.
Транспарт на вялікія адлегласці: неабходна вакуумна спакаваць і запоўніць сухім азотам. Пасля прыбыцця яго трэба пакінуць на 24 гадзіны, пакуль тэмпература не дасягне раўнавагі, перад распакоўкай, каб прадухіліць уплыў кандэнсату на дакладнасць.
5. Прагназаванне няспраўнасцей: метады выяўлення ранніх праблем
Візуальны агляд: рэгулярна аглядайце паверхню з дапамогай 40-кратнай лупы. Калі выяўленыя суцэльныя драпіны або значнае зніжэнне бляску, гэта можа сведчыць аб зніжэнні дакладнасці.
Выяўленне гуку: акуратна пастукайце па платформе. Калі гук стане хрыплым (звычайна ён павінен быць чыстым), унутры могуць быць мікратрэшчыны. Неадкладна спыніце выкарыстанне для выяўлення.
Дзякуючы гэтай сістэме абслугоўвання гранітная платформа ZHHIMG® можа падтрымліваць роўнасць ±1 мкм/м на працягу 10 гадоў, што больш чым у тры разы даўжэй за тэрмін службы платформаў, якія не абслугоўваюцца належным чынам. Практыка паказала, што пасля таго, як пэўны паўправадніковы завод прыняў гэтае рашэнне, частата каліброўкі платформы скарацілася на 50%, а штогадовыя выдаткі на абслугоўванне былі зэканомлены больш чым на 150 000 юаняў.
Час публікацыі: 18 чэрвеня 2025 г.