Паўправадніковая прамысловасць працуе з маштабам дакладнасці, які пашырае межы чалавечай кемлівасці. У аснове кантролю якасці ў гэтай галіне — апошняга, найважнейшага этапу перад тым, як чып будзе прызнаны гатовым да продажу — ляжыць, здавалася б, просты матэрыял: граніт. У прыватнасці, дакладныя гранітныя платформы з'яўляюцца найлепшым рашэннем для кантролю паўправадніковых чыпаў, што можа здзівіць тых, хто не з'яўляецца спецыялістам па гэтай галіне. У ZHONGHUI Group (ZHHIMG®) мы добра разумеем гэтыя ўзаемаадносіны. Наш вопыт у стварэнні звышвысокадакладных гранітных кампанентаў і вымяральных інструментаў зрабіў нас ключавым партнёрам для некаторых з вядучых сусветных паўправадніковых і метралагічных кампаній. Апора на граніт для гэтага крытычна важнага прымянення — гэта не пытанне традыцыі, а чыстая фізіка і інжынерыя. Гаворка ідзе пра задавальненне шэрагу унікальных і патрабавальных патрабаванняў, якія ніякі іншы матэрыял не можа задаволіць гэтак жа эфектыўна.
Нязменнае патрабаванне стабільнасці
Праверка паўправадніковых мікрасхем — гэта не толькі праверка на наяўнасць дэфектаў, але і праверка таго, што мікраскапічныя элементы, якія часта вымяраюцца ў нанаметрах, ідэальна сфармаваныя. Гэты працэс патрабуе складанага абсталявання, такога як аптычныя сістэмы кантролю (AOI) і прамысловыя камп'ютэрныя тамаграфічныя сканеры, якія павінны заставацца ідэальна стабільнымі падчас сканавання. Любая вібрацыя, цеплавое пашырэнне або структурны дрэйф могуць прывесці да памылак, што прывядзе да ілжыва спрацоўвальных вынікаў або, што яшчэ горш, да прапушчаных дэфектаў.
Вось дзе граніт ззяе. У адрозненне ад металу, які значна пашыраецца і сціскаецца пры зменах тэмпературы, граніт мае неверагодна нізкі каэфіцыент цеплавога пашырэння. Наш чорны граніт ZHHIMG® мае шчыльнасць прыблізна 3100 кг/м3, што забяспечвае выключную цеплавую стабільнасць. Гэта азначае, што гранітная платформа захавае сваю форму і роўнасць нават у асяроддзях, дзе тэмпература навакольнага асяроддзя нязначна вагаецца. У клімат-кантрольнай майстэрні, такой як наша плошчай 10 000 м2, дзе тэмпература падтрымліваецца з ваеннай дакладнасцю, стабільнасць граніту не мае сабе роўных.
Акрамя таго, выдатныя ўласцівасці гашэння вібрацыі граніту маюць важнае значэнне. Ён натуральным чынам паглынае і рассейвае механічныя вібрацыі, прадухіляючы іх перадачу на далікатнае кантрольна-праверачнае абсталяванне. На загружаным вытворчым цэху, запоўненым абсталяваннем, такое гашэнне вібрацыі мае вырашальнае значэнне для падтрымання цэласнасці вымярэнняў. Нашы майстэрні распрацаваны з улікам гэтага, маючы звыштоўстыя бетонныя падлогі і антывібрацыйныя траншэі, каб стварыць асяроддзе, у якім нашы майстры могуць дасягнуць нанаметровай дакладнасці ў сваёй працы.
Імкненне да абсалютнай плоскасці
Каб сістэма кантролю чыпаў працавала, яе аснова павінна быць максімальна роўнай. Паняцце «роўнай паверхні» ў гэтым кантэксце не візуальнае, а матэматычнае, вымяраецца з дапамогай такіх прыбораў, як лазерныя інтэрферометры Renishaw і швейцарскія электронныя ўзроўні Wyler. Мэта інспектара чыпаў — вымераць роўнасць чыпа з дакладнасцю да некалькіх мікронаў ці нават нанаметраў. Для гэтага сама платформа павінна быць на парадкі больш роўнай.
Граніт — гэта матэрыял, які з дапамогай нашых спецыялізаваных метадаў ручной апрацоўкі можна адшліфаваць да ўзроўню плоскасці, які практычна не мае сабе роўных. Нашы майстры, многія з якіх маюць больш за 30 гадоў вопыту, валодаюць тактыльным адчуваннем, якое дазваляе ім «адчуць» адхіленне плоскасці ўсяго ў некалькі мікронаў. Гэты чалавечы дотык у спалучэнні з нашым абсталяваннем сусветнага класа дазваляе нам вырабляць гранітныя паверхні з нанаметровай плоскасцю, што робіць іх ідэальнай эталоннай плоскасцю для каліброўкі і кантролю. Гэта аснова, на якой будуецца дакладны кантроль паўправаднікоў.
Вырашэнне ўнікальных патрабаванняў паўправадніковай прамысловасці
Паўправадніковая прамысловасць мае таксама спецыфічныя патрэбы, акрамя стабільнасці і плоскасці. Напрыклад, многія сістэмы кантролю выкарыстоўваюць паветраныя падшыпнікі для руху без трэння. Граніт з'яўляецца выдатным асяроддзем для накіроўвалых паветраных падшыпнікаў дзякуючы сваёй уласцівай калянасці і парыстасці, якая забяспечвае дробны, раўнамерны паток паветра. Нашы гранітныя паветраныя падшыпнікі вырабляюцца на заказ, каб забяспечыць плаўны і дакладны рух, што неабходна для хуткаснага і высокадакладнага кантролю.
Акрамя таго, наш чорны граніт ZHHIMG® не мае магнітных уласцівасцяў і не праводзіць электрычнасць, што вельмі важна для адчувальных электронных кампанентаў. Ён не перашкаджае электрамагнітным палям выпрабавальнага абсталявання або самога чыпа. Гэтая нейтральнасць — асаблівасць, якую многія металічныя платформы проста не могуць прапанаваць.
У ZHHIMG® мы не проста прадаем граніт. Мы забяспечваем найважнейшую аснову для самых перадавых тэхналогій у свеце. Наша абавязацельства перад кліентамі заключаецца ў тым, каб прапаноўваць рашэнні, якія не з'яўляюцца падманам, утойваннем і падманам. Мы цесна супрацоўнічаем з нашымі партнёрамі, у тым ліку з такімі гігантамі, як Samsung, і метралагічнымі інстытутамі, каб гарантаваць, што наша прадукцыя не толькі адпавядае іх спецыфікацыям, але і спрыяе развіццю іх тэхналогій. У гульні з высокімі стаўкамі ў вытворчасці паўправаднікоў, дакладныя гранітныя платформы ZHHIMG® - гэта бясшумная, нерухомая сіла, якая забяспечвае стабільнасць і дакладнасць, якія ўвасабляюць у жыццё інавацыі заўтрашняга дня.
Час публікацыі: 28 верасня 2025 г.