Паколькі паўправадніковая прамысловасць актыўна імкнецца да ўкаранення тэхналагічных вузлоў менш чым за 2 нм, запас для механічных памылак практычна знік. У гэтым асяроддзі высокіх ставак стабільнасць тэхналагічнай камеры больш не з'яўляецца другараднай праблемай; гэта асноўнае вузкае месца для выхаду. У ZHHIMG мы назіраем фундаментальныя змены ў тым, як сусветныя вытворцы арыгінальнага абсталявання падыходзяць да структурнай цэласнасці паўправадніковага абсталявання.
Фізіка цішыні: перадавыя метады гашэння вібрацый
У сучасным вытворчасці пласцін вібрацыі, якія калісьці лічыліся «фонавым шумам», цяпер катастрафічныя. Няхай гэта будзе мікраваганні сістэмы ацяплення, вентыляцыі і кандыцыянавання паветра, ці ўнутраная інерцыя хуткаснага сканавальнага століка, некантраляваная энергія непасрэдна прыводзіць да памылак накладання і размытых заканамернасцей.
Сучасныя метады гашэння вібрацый у вытворчасці паўправаднікоў развіліся ў шматслаёвую архітэктуру. Хоць пасіўнае гашэнне — выкарыстанне масіўных матэрыялаў, такіх як мінеральнае ліццё або прэцызійны граніт — застаецца асновай, мы назіраем рост інтэграцыі актыўнага гашэння.
Актыўныя сістэмы выкарыстоўваюць п'езаэлектрычныя прывады і датчыкі рэальнага часу для «кампенсацыі» ваганняў шляхам генерацыі супрацьчастот. Аднак эфектыўнасць актыўных сістэм па сваёй сутнасці абмежавана каэфіцыентам дэмпфавання асноўнага матэрыялу. Менавіта тут вопыт ZHHIMG у галіне высокадэмпфіруючых канструкцыйных матэрыялаў становіцца вырашальным. Спалучаючы актыўную электроніку з натуральна інэртнай гранітнай або кампазітнай асновай, мы ствараем «ціхую зону», дзе нанапазіцыянаванне можа адбывацца без перашкод.
Уздым руху без трэння: тэхналогія паветраных падшыпнікаў
Патрэба ў большай прапускной здольнасці дасягнула мяжы магчымасцей традыцыйных механічных падшыпнікаў. Трэнне прыводзіць да нагрэву, а нагрэў — да цеплавога пашырэння — ворага дакладнасці. Гэта прывяло да шырокага распаўсюджвання...тэхналогія паветраных падшыпнікаў для дакладных платформаў.
Паветраныя падшыпнікі падтрымліваюць нагрузку на тонкую плёнку сціснутага паветра, звычайна таўшчынёй усяго некалькі мікронаў. Паколькі няма фізічнага кантакту, статычнае трэнне (счапленне) нулявое. Гэта дазваляе:
-
Рух без гістэрэзісу: забеспячэнне таго, каб сцэна кожны раз вярталася да адной і той жа нанаметровай каардынаты.
-
Пастаянства хуткасці: вельмі важна для сканавання, такіх як кантроль электроннага прамяня, дзе нават найменшае «вібраванне» механічнага падшыпніка можа скажаць выяву.
-
Надзвычайная даўгавечнасць: паколькі няма датыкальных дэталяў, няма зносу і ўтварэння часціц, што робіць іх ідэальнымі для чыстых памяшканняў класа 1.
У ZHHIMG мы вырабляем ультраплоскія гранітныя паверхні, якія служаць накіроўвалымі для гэтых паветраных падшыпнікаў. Для правільнай працы гэтыя паверхні павінны быць адшліфаваны да роўнасці, якая вымяраецца ў долях даўжыні хвалі святла.
Тэндэнцыі ў паўправадніковым капітальным абсталяванні: 2026 год і далей
Па меры таго, як мы рухаемся праз 2026 год,тэндэнцыі ў паўправадніковым капітальным абсталяванніхарактарызуюцца «трыма слупамі»: модулярызацыя, устойлівае развіццё і цеплавы кантроль.
-
Модульная канструкцыя платформы: вытворцы арыгінальнага абсталявання шукаюць базавыя модулі тыпу «падключы і працуй». Замест таго, каб распрацоўваць новую аснову для кожнага інструмента, яны выкарыстоўваюць стандартызаваныя дакладныя асновы ZHHIMG, якія можна адаптаваць для літаграфіі, метралогіі або травлення.
-
Кіраванне тэмпературай: Паколькі крыніцы ультрафіялетавага выпраменьвання (EUV) генеруюць велізарную колькасць цяпла, аснова машыны павінна выступаць у якасці масіўнага цеплаадводу. Мы інтэгруем складаныя каналы астуджэння непасрэдна ў нашы мінеральныя і гранітныя кампаненты, каб падтрымліваць дэльту $<0,01^\circ\text{C}$.
-
Сумяшчальнасць з вакуумам: Паколькі ўсё больш працэсаў пераходзяць у асяроддзе з высокім вакуумам, выкарыстоўваныя матэрыялы павінны мець нулявое выдзяленне газаў. Наша спецыялізаваная апрацоўка граніту і керамікі гарантуе, што цэласнасць вакууму ніколі не будзе парушана канструкцыйным падмуркам.
Стратэгічнае партнёрства з ZHHIMG
ZHHIMG — гэта не проста вытворца кампанентаў; мы з'яўляемся стратэгічным партнёрам у ланцужку паставак сістэм кіравання рухам. Наша вытворчасць у Кітаі цесна супрацоўнічае з інжынернымі камандамі ў Сіліконавай даліне і Эйндховене, каб вырашаць найбольш складаныя праблемы стабільнасці ў галіне.
Выкарыстоўваючы нашы запатэнтаваныя метады прыціркі і глыбокае разуменнеметады гашэння вібрацый, мы дапамагаем нашым кліентам пашыраць межы закона Мура. Незалежна ад таго, ці распрацоўваеце вы інструмент ALD (атамна-слаёвага нанясення) наступнага пакалення, ці высакахуткасны зонд для пласцін, падмурак пачынаецца з ZHHIMG.
Выснова
Эвалюцыя вытворчасці паўправаднікоў — гэта гонка супраць законаў фізікі. Па меры набліжэння галіны да 2026 года ўвага да дакладнасці паветраных падшыпнікаў і перадавога дэмпфіравання будзе толькі ўзмацняцца. Каб апярэджваць гэтыя тэндэнцыі, патрабуецца падмурак — як літаральна, так і пераносна — заснаваны на вопыце і інавацыях.
Час публікацыі: 26 студзеня 2026 г.